Semicorex는 중국 내 실리콘 카바이드 코팅 흑연의 대규모 제조업체이자 공급업체입니다. 당사의 MOCVD Inlet Seal Ring은 가격 이점이 뛰어나며 많은 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
Semicorex Silicon Carbide Coating MOCVD Inlet Seal Ring은 증착, 웨이퍼 핸들링 공정에 사용되는 고순도 SiC 코팅 흑연입니다. SiC 코팅 MOCVD 입구 씰 링은 내열성과 내식성이 뛰어나 극한 환경에서도 안정성이 뛰어납니다.
Semicorex에서는 고품질의 비용 효율적인 MOCVD Inlet Seal Ring 제공에 중점을 두고 고객 만족을 최우선으로 하며 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 우리는 고품질 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
MOCVD 입구 씰 링의 매개변수
CVD-SIC 코팅 주요 사양 |
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SiC-CVD 속성 |
||
결정 구조 |
FCC β상 |
|
밀도 |
g/cm ³ |
3.21 |
경도 |
비커스 경도 |
2500 |
입자 크기 |
μm |
2~10 |
화학적 순도 |
% |
99.99995 |
열용량 |
Jkg-1 K-1 |
640 |
승화 온도 |
℃ |
2700 |
굽힘 강도 |
MPa(RT 4점) |
415 |
영률 |
Gpa (4pt 굴곡, 1300℃) |
430 |
열팽창(C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
열전도율 |
(W/mK) |
300 |
MOCVD 입구 씰 링의 특징
고순도 SiC 코팅 흑연
우수한 내열성 및 열 균일성
매끄러운 표면을 위해 코팅된 미세 SiC 크리스탈
화학적 세척에 대한 높은 내구성
크랙 및 박리가 발생하지 않도록 재질을 설계하였습니다.