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MOCVD 주입구 밀봉 링

MOCVD 주입구 밀봉 링

Semicorex는 중국의 실리콘 카바이드 코팅 흑연의 대규모 제조업체이자 공급업체입니다. 당사의 MOCVD 주입구 밀봉 링은 가격면에서 유리하며 많은 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

Semicorex 실리콘 카바이드 코팅 MOCVD 주입구 밀봉 링은 증착, 웨이퍼 처리 공정에 사용되는 고순도 SiC 코팅 흑연입니다. SiC 코팅된 MOCVD Inlet Seal Ring은 내열성과 내식성이 높아 극한 환경에서도 안정성이 뛰어납니다.

Semicorex는 고품질의 비용 효율적인 MOCVD Inlet Seal Ring을 제공하는 데 중점을 두며 고객 만족을 우선시하고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 고품질 제품과 뛰어난 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.


MOCVD 인레트 밀봉 반지의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


MOCVD Inlet Seal Ring의 특징

고순도 SiC 코팅 흑연

우수한 내열성 및 열 균일성

매끄러운 표면을 위해 코팅된 미세 SiC 크리스탈

화학 세정에 대한 높은 내구성

균열 및 박리가 발생하지 않도록 재료가 설계되었습니다.




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