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웨이퍼 캐리어 트레이
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웨이퍼 캐리어 트레이

Semicorex는 반도체 산업의 실리콘 카바이드 층에 중점을 둔 OEM 반도체 제조 도구 및 웨이퍼 처리 구성 요소를 위한 반도체 등급 세라믹을 제공합니다. 우리는 수년 동안 웨이퍼 캐리어 트레이의 제조업체이자 공급업체였습니다. 우리의 웨이퍼 캐리어 트레이는 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

에피택시나 MOCVD, 웨이퍼 핸들링 공정과 같은 박막 증착 단계뿐만 아니라 웨이퍼를 지지하는 데 사용되는 초순수 세라믹 캐리어를 공급하고 있습니다. 공정의 핵심인 MOCVD용 Wafer Carrier Tray는 먼저 증착 환경에 노출되기 때문에 내열성과 내식성이 우수합니다. SiC 코팅된 캐리어는 또한 높은 열전도율과 우수한 열 분포 특성을 가지고 있습니다.
웨이퍼 캐리어 트레이에 대해 자세히 알아보려면 지금 문의하십시오.


웨이퍼 캐리어 트레이의 매개변수

기술 속성

색인

단위

재료명

반응 소결 실리콘 카바이드

압력이 없는 소결 실리콘 카바이드

재결정 실리콘 카바이드

구성

RBSiC

SSiC

R-SiC

부피 밀도

g/cm3

3

3.15 ± 0.03

2.60-2.70

굴곡강도

MPa(kpsi)

338(49)

380(55)

80-90 (20°C)90-100(1400°C)

압축 강도

MPa(kpsi)

1120(158)

3970(560)

> 600

경도

누프

2700

2800

/

끈기 깨기

MPa·m1/2

4.5

4

/

열 전도성

W/m.k

95

120

23

열팽창 계수

10-6.1/°C

5

4

4.7

비열

줄/g 0k

0.8

0.67

/

공기 중 최대 온도

1200

1500

1600

탄성계수

GPA

360

410

240


SSiC와 RBSiC의 차이점:

1. 소결 공정이 다릅니다. RBSiC는 저온에서 실리콘 카바이드에 자유 Si를 침투시키는 것으로, SSiC는 2100도에서 자연수축에 의해 형성된다.

2. SSiC는 더 매끄러운 표면, 더 높은 밀도 및 더 높은 강도를 가지고 있습니다. 더 엄격한 표면 요구 사항이 있는 일부 밀봉의 경우 SSiC가 더 좋습니다.

3. 다른 PH 및 온도에서 다른 사용 시간, SSiC는 RBSiC보다 깁니다.


웨이퍼 캐리어 트레이의 특징

- CVD 실리콘 카바이드 코팅으로 서비스 수명을 향상시킵니다.
- 고성능 정제 경질 탄소로 만든 단열재.
- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 열전도율이 높고 열분산 특성이 우수합니다.
- 고순도 흑연 및 SiC 코팅으로 핀홀 저항 및 수명 연장


실리콘 카바이드 세라믹스의 사용 가능한 모양

â 세라믹 막대/세라믹 핀/세라믹 플런저

â 세라믹 튜브 / 세라믹 부싱 / 세라믹 슬리브

â 세라믹 링/세라믹 와셔/세라믹 스페이서

â 세라믹 디스크

â 세라믹 플레이트/세라믹 블록

세라믹 볼

세라믹 피스톤

세라믹 노즐

â 세라믹 도가니

â 기타 맞춤형 세라믹 부품



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