웨이퍼 캐리어 트레이

에피택시나 MOCVD, 웨이퍼 핸들링 공정과 같은 박막 증착 단계뿐만 아니라 웨이퍼를 지지하는 데 사용되는 초순수 세라믹 캐리어를 공급하고 있습니다. 공정의 핵심인 MOCVD용 Wafer Carrier Tray는 먼저 증착 환경에 노출되기 때문에 내열성과 내식성이 우수합니다. SiC 코팅된 캐리어는 또한 높은 열전도율과 우수한 열 분포 특성을 가지고 있습니다.
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웨이퍼 캐리어 트레이의 매개변수

SSiC와 RBSiC의 차이점:

1. 소결 공정이 다릅니다. RBSiC는 저온에서 실리콘 카바이드에 자유 Si를 침투시키는 것으로, SSiC는 2100도에서 자연수축에 의해 형성된다.

2. SSiC는 더 매끄러운 표면, 더 높은 밀도 및 더 높은 강도를 가지고 있습니다. 더 엄격한 표면 요구 사항이 있는 일부 밀봉의 경우 SSiC가 더 좋습니다.

3. 다른 PH 및 온도에서 다른 사용 시간, SSiC는 RBSiC보다 깁니다.

웨이퍼 캐리어 트레이의 특징

- CVD 실리콘 카바이드 코팅으로 서비스 수명을 향상시킵니다.
- 고성능 정제 경질 탄소로 만든 단열재.
- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 열전도율이 높고 열분산 특성이 우수합니다.
- 고순도 흑연 및 SiC 코팅으로 핀홀 저항 및 수명 연장

실리콘 카바이드 세라믹스의 사용 가능한 모양

â 세라믹 막대/세라믹 핀/세라믹 플런저

â 세라믹 튜브 / 세라믹 부싱 / 세라믹 슬리브

â 세라믹 링/세라믹 와셔/세라믹 스페이서

â 세라믹 디스크

â 세라믹 플레이트/세라믹 블록

세라믹 볼

세라믹 피스톤

세라믹 노즐

â 세라믹 도가니

â 기타 맞춤형 세라믹 부품