웨이퍼 캐리어 트레이

Semicorex는 반도체 산업의 탄화규소 층에 초점을 맞춘 OEM 반제조 도구 및 웨이퍼 처리 부품을 위한 반도체 등급 세라믹을 제공합니다. 우리는 수년 동안 웨이퍼 캐리어 트레이를 제조 및 공급해 왔습니다. 당사의 웨이퍼 캐리어 트레이는 가격 경쟁력이 뛰어나며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

에피택시나 MOCVD와 같은 박막 증착 단계나 웨이퍼 핸들링 공정뿐만 아니라, Semicorex는 웨이퍼를 지지하는 데 사용되는 초순수 세라믹 캐리어를 공급합니다. 공정의 핵심인 MOCVD용 Wafer Carrier Tray는 증착 환경을 먼저 거치기 때문에 내열성과 내식성이 우수합니다. SiC 코팅 캐리어는 열전도율이 높고 열 분포 특성도 뛰어납니다.
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웨이퍼 캐리어 트레이의 매개변수

기술적 특성
색인	단위	값
재료 이름		반응 소결 실리콘 카바이드	무압력 소결 실리콘 카바이드	재결정 실리콘 카바이드
구성		RBSiC	SSiC	R-SiC
벌크 밀도	g/cm3	3	3.15±0.03	2.60-2.70
굴곡강도	MPa(kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
압축강도	MPa(kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
경도	단추	2700	2800	/
파괴적인 끈기	MPa·m1/2	4.5	4	/
열전도율	W/m.k	95	120	23
열팽창 계수	10^-6.1/°C	5	4	4.7
비열	줄/g 0k	0.8	0.67	/
공기 중 최대 온도	℃	1200	1500	1600
탄성률	평점	360	410	240