Semicorex는 반도체 산업의 탄화규소 층에 초점을 맞춘 OEM 반제조 도구 및 웨이퍼 처리 부품을 위한 반도체 등급 세라믹을 제공합니다. 우리는 수년 동안 실리콘 웨이퍼 캐리어의 제조업체이자 공급업체였습니다. 당사의 실리콘 웨이퍼 캐리어는 가격 경쟁력이 뛰어나며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
더 읽어보기문의 보내기반도체 처리용 Semicorex 내구성 포커스 링은 반도체 처리에 사용되는 플라즈마 식각 챔버의 극한 환경을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 우리의 포커스 링은 조밀하고 내마모성이 뛰어난 탄화규소(SiC) 코팅으로 코팅된 고순도 흑연으로 만들어졌습니다. SiC 코팅은 높은 내식성, 내열성 및 우수한 열전도성을 갖고 있습니다. 우리는 포커스 링의 수명을 향상시키기 위해 화학 기상 증착(CVD) 공정을 사용하여 흑연 위에 SiC를 얇은 층으로 도포합니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex의 ICP 에칭 공정용 웨이퍼 홀더는 까다로운 웨이퍼 핸들링 및 박막 증착 공정을 위한 완벽한 선택입니다. 당사 제품은 우수한 내열성 및 내부식성, 균일한 열 균일성, 최적의 층류 가스 흐름 패턴을 자랑하여 일관되고 신뢰할 수 있는 결과를 제공합니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex의 ICP 실리콘 탄소 코팅 흑연은 까다로운 웨이퍼 처리 및 박막 증착 공정에 이상적인 선택입니다. 당사 제품은 우수한 내열성 및 내식성, 균일한 열 균일성, 최적의 층류 가스 흐름 패턴을 자랑합니다.
더 읽어보기문의 보내기에픽시얼 성장 및 웨이퍼 취급 공정에 사용되는 웨이퍼 캐리어는 고온과 가혹한 화학적 세척을 견뎌야 합니다. Semicorex SiC 코팅 PSS 에칭 캐리어는 이러한 까다로운 에피택시 장비 응용 분야를 위해 특별히 설계되었습니다. 당사의 제품은 가격 경쟁력이 뛰어나며 유럽 및 미국 시장의 많은 부분을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
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