실리콘 웨이퍼 캐리어

Semicorex는 반도체 산업의 탄화규소 층에 초점을 맞춘 OEM 반제조 도구 및 웨이퍼 처리 부품을 위한 반도체 등급 세라믹을 제공합니다. 우리는 수년 동안 실리콘 웨이퍼 캐리어의 제조업체이자 공급업체였습니다. 당사의 실리콘 웨이퍼 캐리어는 가격 경쟁력이 뛰어나며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

반도체 증착 공정에서는 휘발성 전구체 가스, 플라즈마 및 고온을 조합하여 고품질의 박막을 웨이퍼에 적층합니다. 증착 챔버와 웨이퍼 처리 도구에는 이러한 까다로운 환경을 견딜 수 있는 내구성 있는 세라믹 부품이 필요합니다.
세미코렉스 실리콘 웨이퍼 캐리어(Semicorex Silicon Wafer Carrier)는 고순도 탄화규소로서 높은 내식성, 내열성, 우수한 열전도율을 가지고 있습니다.

실리콘 웨이퍼 캐리어의 매개변수

기술적 특성
색인	단위	값
재료 이름		반응 소결 실리콘 카바이드	무압력 소결 실리콘 카바이드	재결정 실리콘 카바이드
구성		RBSiC	SSiC	R-SiC
벌크 밀도	g/cm3	3	3.15±0.03	2.60-2.70
굴곡강도	MPa(kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
압축강도	MPa(kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
경도	단추	2700	2800	/
파괴적인 끈기	MPa·m1/2	4.5	4	/
열전도율	W/m.k	95	120	23
열팽창 계수	10^-6.1/°C	5	4	4.7
비열	줄/g 0k	0.8	0.67	/
공기 중 최대 온도	℃	1200	1500	1600
탄성률	평점	360	410	240