> 제품 > 실리콘 카바이드 세라믹 > 웨이퍼 캐리어 > 실리콘 웨이퍼 캐리어
실리콘 웨이퍼 캐리어
  • 실리콘 웨이퍼 캐리어실리콘 웨이퍼 캐리어
  • 실리콘 웨이퍼 캐리어실리콘 웨이퍼 캐리어

실리콘 웨이퍼 캐리어

Semicorex는 반도체 산업의 실리콘 카바이드 레이어에 중점을 둔 OEM 반도체 제조 도구 및 웨이퍼 처리 부품을 위한 반도체 등급 세라믹을 제공합니다. 우리는 수년 동안 실리콘 웨이퍼 캐리어의 제조업체이자 공급업체였습니다. 당사의 Silicon Wafer Carrier는 가격 이점이 뛰어나며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

문의 보내기

제품 설명

반도체 증착 공정은 휘발성 전구체 가스, 플라즈마 및 고온의 조합을 사용하여 웨이퍼에 고품질 박막을 적층합니다. 증착 챔버 및 웨이퍼 처리 도구는 이러한 까다로운 환경에 견딜 수 있는 내구성 있는 세라믹 부품이 필요합니다.
Semicorex Silicon Wafer Carrier는 고순도 탄화규소로 내식성, 내열성이 우수하고 열전도율이 우수합니다.


실리콘 웨이퍼 캐리어의 매개변수

기술 속성

색인

단위

재료명

반응 소결 실리콘 카바이드

압력이 없는 소결 실리콘 카바이드

재결정 실리콘 카바이드

구성

RBSiC

SSiC

R-SiC

부피 밀도

g/cm3

3

3.15 ± 0.03

2.60-2.70

굴곡강도

MPa(kpsi)

338(49)

380(55)

80-90 (20°C)90-100(1400°C)

압축 강도

MPa(kpsi)

1120(158)

3970(560)

> 600

경도

누프

2700

2800

/

끈기 깨기

MPa·m1/2

4.5

4

/

열 전도성

W/m.k

95

120

23

열팽창 계수

10-6.1/°C

5

4

4.7

비열

줄/g 0k

0.8

0.67

/

공기 중 최대 온도

1200

1500

1600

탄성계수

GPA

360

410

240


SSiC와 RBSiC의 차이점:

1. 소결 공정이 다릅니다. RBSiC는 저온에서 실리콘 카바이드에 자유 Si를 침투시키는 것으로, SSiC는 2100도에서 자연수축에 의해 형성된다.

2. SSiC는 더 매끄러운 표면, 더 높은 밀도 및 더 높은 강도를 가지고 있습니다. 더 엄격한 표면 요구 사항이 있는 일부 밀봉의 경우 SSiC가 더 좋습니다.

3. 다른 PH 및 온도에서 다른 사용 시간, SSiC는 RBSiC보다 깁니다.


실리콘 웨이퍼 캐리어의 특징

고순도 SiC 코팅 흑연
우수한 내열성 및 열 균일성
매끄러운 표면을 위해 코팅된 미세 SiC 크리스탈
화학 세정에 대한 높은 내구성
균열 및 박리가 발생하지 않도록 재료가 설계되었습니다.


실리콘 카바이드 세라믹스의 사용 가능한 모양

â 세라믹 막대/세라믹 핀/세라믹 플런저

â 세라믹 튜브 / 세라믹 부싱 / 세라믹 슬리브

â 세라믹 링/세라믹 와셔/세라믹 스페이서

â 세라믹 디스크

â 세라믹 플레이트/세라믹 블록

세라믹 볼

세라믹 피스톤

세라믹 노즐

â 세라믹 도가니

â 기타 맞춤형 세라믹 부품




핫 태그: 실리콘 웨이퍼 캐리어, 중국, 제조업체, 공급업체, 공장, 맞춤형, 대량, 고급, 내구성

관련 카테고리

문의 보내기

문의사항은 아래 양식으로 부담없이 보내주세요. 24시간 이내에 회신해 드리겠습니다.