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중국 실리콘 카바이드 코팅 제조업체, 공급업체, 공장

SiC 코팅은 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 서셉터 위에 얇은 층을 형성하는 것입니다. 실리콘 카바이드 소재는 실리콘에 비해 10배의 항복 전기장 강도, 3배의 밴드 갭을 포함하여 고온 및 내화학성, 우수한 내마모성 및 열 전도성을 제공하는 등 실리콘에 비해 여러 가지 장점을 제공합니다.

Semicorex는 맞춤형 서비스를 제공하고, 더 오래 지속되는 구성 요소로 혁신을 돕고, 주기 시간을 단축하며, 수율을 향상시킵니다.


SiC 코팅은 몇 가지 고유한 장점을 가지고 있습니다.

고온 저항: CVD SiC 코팅 서셉터는 심각한 열 저하 없이 최대 1600°C의 고온을 견딜 수 있습니다.

내화학성: 탄화규소 코팅은 산, 알칼리 및 유기 용매를 포함한 광범위한 화학 물질에 대한 탁월한 저항성을 제공합니다.

내마모성: SiC 코팅은 재료에 탁월한 내마모성을 제공하여 마모가 심한 응용 분야에 적합합니다.

열 전도성: CVD SiC 코팅은 재료에 높은 열 전도성을 제공하므로 효율적인 열 전달이 필요한 고온 응용 분야에 사용하기에 적합합니다.

높은 강도 및 강성: 탄화규소 코팅된 서셉터는 재료에 높은 강도와 ​​강성을 제공하므로 높은 기계적 강도가 필요한 응용 분야에 적합합니다.


SiC 코팅은 다양한 용도로 사용됩니다.

LED 제조: CVD SiC 코팅 서셉터는 높은 열 전도성과 내화학성으로 인해 청색 및 녹색 LED, UV LED, 원자외선 LED 등 다양한 LED 유형의 가공 공정에 사용됩니다.



이동 통신: CVD SiC 코팅 서셉터는 GaN-on-SiC 에피택셜 공정을 완료하는 HEMT의 중요한 부분입니다.



반도체 처리: CVD SiC 코팅 서셉터는 반도체 산업에서 웨이퍼 처리 및 에피택셜 성장을 포함한 다양한 응용 분야에 사용됩니다.





SiC 코팅 흑연 부품

실리콘 카바이드 코팅(SiC) 흑연으로 제작된 이 코팅은 특정 등급의 고밀도 흑연에 CVD 방법으로 적용되므로 불활성 분위기에서 3000°C 이상, 진공에서 2200°C 이상의 고온로에서 작동할 수 있습니다. .

재료의 특별한 특성과 낮은 질량으로 인해 빠른 가열 속도, 균일한 온도 분포 및 탁월한 제어 정밀도가 가능합니다.


Semicorex SiC 코팅의 재료 데이터

일반적인 속성

단위

가치

구조


FCC β상

정위

분수(%)

111 선호

부피 밀도

g/cm3

3.21

경도

비커스 경도

2500

열용량

Jkg-1 K-1

640

열팽창 100~600°C(212~1112°F)

10-6K-1

4.5

영률

Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)

430

입자 크기

μm

2~10

승화 온도

2700

굽힘 강도

MPa(RT 4점)

415

열전도율

(W/mK)

300


결론 CVD SiC 코팅 서셉터는 서셉터와 탄화규소의 특성을 결합한 복합 재료입니다. 이 소재는 고온 및 내화학성, 우수한 내마모성, 높은 열 전도성, 높은 강도 및 강성을 포함한 독특한 특성을 보유하고 있습니다. 이러한 특성으로 인해 반도체 처리, 화학 처리, 열처리, 태양 전지 제조 및 LED 제조를 포함한 다양한 고온 응용 분야에 매력적인 재료가 됩니다.






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MOCVD 서셉터

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Semicorex의 MOCVD 서셉터는 복잡한 흑연 에피택시 및 정밀한 웨이퍼 핸들링 작업에 대한 장인정신, 내구성 및 신뢰성의 정점을 보여줍니다. 이 서셉터는 고밀도, 뛰어난 평탄도, 우수한 열 제어로 유명하므로 까다로운 제조 환경에 가장 적합한 선택입니다. Semicorex는 품질과 비용 효율성을 융합한 고성능 MOCVD 서셉터를 제조 및 공급하는 데 전념하고 있습니다.

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에피택셜 성장용 플레이트

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에피택셜 성장용 Semicorex 플레이트는 에피택셜 공정의 복잡성을 충족하도록 특별히 설계된 중요한 요소입니다. 고유한 사양과 선호 사항을 충족하도록 맞춤화할 수 있는 당사의 제품은 귀하의 고유한 운영 요구 사항에 완벽하게 맞는 개별 맞춤형 솔루션을 제공합니다. 우리는 크기 변경부터 코팅 적용 분야의 변형까지 다양한 맞춤 옵션을 제공하여 다양한 적용 시나리오에서 성능을 향상시킬 수 있는 제품을 설계하고 공급할 수 있도록 해줍니다. Semicorex는 품질과 비용 효율성을 융합한 고성능 에피택셜 성장용 플레이트를 제조 및 공급하는 데 전념하고 있습니다.

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MOCVD용 웨이퍼 캐리어

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MOCVD(금속 유기 화학 기상 증착)의 정확한 요구 사항에 맞게 제작된 MOCVD용 Semicorex 웨이퍼 캐리어는 대규모 집적 회로용 단결정 Si 또는 SiC 처리에 없어서는 안 될 도구로 등장합니다. MOCVD 조성물용 웨이퍼 캐리어는 비교할 수 없는 순도, 고온 및 부식 환경에 대한 내성, 우수한 밀봉 특성을 자랑하여 깨끗한 분위기를 유지합니다. Semicorex는 품질과 비용 효율성을 융합한 MOCVD용 고성능 웨이퍼 캐리어를 제조 및 공급하는 데 전념하고 있습니다.

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SiC 보트 홀더

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Semicorex의 SiC 보트 홀더는 SiC에서 혁신적으로 제작되었으며, 광전지, 전자 및 반도체 분야의 중추적인 역할을 위해 명시적으로 맞춤 제작되었습니다. 정밀하게 설계된 Semicorex SiC 보트 홀더는 처리, 운송 또는 보관 등 모든 단계에서 웨이퍼를 보호하고 안정적인 환경을 제공합니다. 세심한 디자인은 웨이퍼 변형을 최소화하고 운영 수율을 최대화하는 데 중요한 치수와 균일성의 정확성을 보장합니다.

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SiC 가이드 링

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Semicorex SiC 가이드 링은 단결정 성장 공정을 최적화하도록 설계되었습니다. 탁월한 열 전도성은 균일한 열 분포를 보장하여 순도와 구조적 무결성이 향상된 고품질 결정 형성에 기여합니다. 경쟁력 있는 재정 고려 사항과 결합된 시장 선도적인 품질에 대한 Semicorex의 약속은 귀하의 반도체 웨이퍼 운송 요건을 충족하기 위한 파트너십 구축에 대한 우리의 열의를 확고히 합니다.

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Epi-SiC 수용체

Epi-SiC 수용체

세부 사항에 세심한 주의를 기울여 설계된 부품인 Semicorex Epi-SiC 서셉터는 최첨단 반도체 제조, 특히 에피택셜 애플리케이션에 없어서는 안 될 요소입니다. 정밀도와 혁신을 구현한 Epi-SiC 서셉터의 설계는 웨이퍼에 반도체 재료의 에피택셜 증착을 지원하여 탁월한 효율성과 성능 신뢰성을 보장합니다. 경쟁력 있는 재정적 고려 사항과 결합된 시장 선도적인 품질에 대한 Semicorex의 약속은 귀하의 반도체 웨이퍼 운송 요건을 충족하기 위한 파트너십 구축에 대한 우리의 열의를 확고히 합니다.

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Semicorex는 수년 동안 실리콘 카바이드 코팅을(를) 생산해 왔으며 중국의 전문 실리콘 카바이드 코팅 제조업체 및 공급업체 중 하나입니다. 대량 포장을 제공하는 당사의 고급 내구성 제품을 구매하면 대량의 빠른 배송을 보장합니다. 수년에 걸쳐 우리는 고객에게 맞춤형 서비스를 제공했습니다. 고객은 우리 제품과 우수한 서비스에 만족합니다. 우리는 진심으로 귀하의 신뢰할 수 있는 장기 비즈니스 파트너가 되기를 기대합니다! 우리 공장에서 제품을 구입하는 것을 환영합니다.
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