중국 실리콘 카바이드 코팅 제조업체, 공급업체, 공장

SiC 코팅은 화학기상증착(CVD) 공정을 통해 서셉터에 얇은 층을 입히는 것입니다. 실리콘 카바이드 소재는 10배의 항복 전계 강도, 3배의 밴드 갭을 포함하여 실리콘에 비해 많은 이점을 제공하여 고온 및 내화학성, 우수한 내마모성 및 열 전도성을 제공합니다.

Semicorex는 맞춤형 서비스를 제공하고 더 오래 지속되는 구성 요소로 혁신을 돕고 사이클 시간을 단축하며 수율을 향상시킵니다.

SiC 코팅에는 몇 가지 고유한 장점이 있습니다.

고온 저항: CVD SiC 코팅 서셉터는 상당한 열 저하 없이 최대 1600°C의 고온을 견딜 수 있습니다.

내화학성: 실리콘 카바이드 코팅은 산, 알칼리 및 유기 용제를 포함한 광범위한 화학 물질에 대한 탁월한 내성을 제공합니다.

내마모성: SiC 코팅은 우수한 내마모성을 가진 재료를 제공하므로 높은 마모가 수반되는 응용 분야에 적합합니다.

열전도율: CVD SiC 코팅은 재료에 높은 열전도율을 제공하므로 효율적인 열 전달이 필요한 고온 응용 분야에 사용하기에 적합합니다.

고강도 및 강성: 실리콘 카바이드 코팅 서셉터는 재료에 고강도 및 강성을 제공하여 높은 기계적 강도가 필요한 응용 분야에 적합합니다.

SiC 코팅은 다양한 용도로 사용됩니다.

LED 제조: CVD SiC 코팅 서셉터는 높은 열전도율과 내화학성으로 인해 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 deep-UV LED를 포함한 다양한 LED 유형의 제조 공정에 사용됩니다.

모바일 통신: CVD SiC 코팅 서셉터는 GaN-on-SiC 에피택셜 공정을 완료하기 위한 HEMT의 중요한 부분입니다.

반도체 처리: CVD SiC 코팅 서셉터는 반도체 산업에서 웨이퍼 처리 및 에피택셜 성장을 비롯한 다양한 응용 분야에 사용됩니다.

SiC 코팅 흑연 부품

SiC(Silicon Carbide Coating) 흑연으로 제작된 코팅은 특정 등급의 고밀도 흑연에 CVD 방식으로 도포되어 불활성 분위기에서 3000°C 이상, 진공 상태에서 2200°C 이상의 고온 Furnace에서 작동할 수 있습니다. .

재료의 특수한 특성과 낮은 질량으로 인해 빠른 가열 속도, 균일한 온도 분포 및 탁월한 제어 정밀도가 가능합니다.

Semicorex SiC 코팅의 재료 데이터

결론 CVD SiC 코팅 서셉터는 서셉터와 실리콘 카바이드의 특성을 결합한 복합 재료입니다. 이 소재는 고온 및 내화학성, 우수한 내마모성, 높은 열전도율, 높은 강도 및 강성을 포함하는 고유한 특성을 가지고 있습니다. 이러한 특성으로 인해 반도체 공정, 화학 공정, 열처리, 태양 전지 제조 및 LED 제조를 포함한 다양한 고온 응용 분야에서 매력적인 소재입니다.