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중국 실리콘 카바이드 코팅 제조업체, 공급업체, 공장

SiC 코팅은 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 서셉터 위에 얇은 층을 형성하는 것입니다. 실리콘 카바이드 소재는 실리콘에 비해 10배의 항복 전기장 강도, 3배의 밴드 갭을 포함하여 고온 및 내화학성, 우수한 내마모성 및 열 전도성을 제공하는 등 실리콘에 비해 여러 가지 장점을 제공합니다.

Semicorex는 맞춤형 서비스를 제공하고, 더 오래 지속되는 구성 요소로 혁신을 돕고, 주기 시간을 단축하며, 수율을 향상시킵니다.


SiC 코팅은 몇 가지 고유한 장점을 가지고 있습니다.

고온 저항: CVD SiC 코팅 서셉터는 심각한 열 저하 없이 최대 1600°C의 고온을 견딜 수 있습니다.

내화학성: 탄화규소 코팅은 산, 알칼리 및 유기 용매를 포함한 광범위한 화학 물질에 대한 탁월한 저항성을 제공합니다.

내마모성: SiC 코팅은 재료에 탁월한 내마모성을 제공하여 마모가 심한 응용 분야에 적합합니다.

열 전도성: CVD SiC 코팅은 재료에 높은 열 전도성을 제공하므로 효율적인 열 전달이 필요한 고온 응용 분야에 사용하기에 적합합니다.

높은 강도 및 강성: 탄화규소 코팅된 서셉터는 재료에 높은 강도와 ​​강성을 제공하므로 높은 기계적 강도가 필요한 응용 분야에 적합합니다.


SiC 코팅은 다양한 용도로 사용됩니다.

LED 제조: CVD SiC 코팅 서셉터는 높은 열 전도성과 내화학성으로 인해 청색 및 녹색 LED, UV LED, 원자외선 LED 등 다양한 LED 유형의 가공 공정에 사용됩니다.



이동 통신: CVD SiC 코팅 서셉터는 GaN-on-SiC 에피택셜 공정을 완료하는 HEMT의 중요한 부분입니다.



반도체 처리: CVD SiC 코팅 서셉터는 반도체 산업에서 웨이퍼 처리 및 에피택셜 성장을 포함한 다양한 응용 분야에 사용됩니다.





SiC 코팅 흑연 부품

실리콘 카바이드 코팅(SiC) 흑연으로 제작된 이 코팅은 특정 등급의 고밀도 흑연에 CVD 방법으로 적용되므로 불활성 분위기에서 3000°C 이상, 진공에서 2200°C 이상의 고온로에서 작동할 수 있습니다. .

재료의 특별한 특성과 낮은 질량으로 인해 빠른 가열 속도, 균일한 온도 분포 및 탁월한 제어 정밀도가 가능합니다.


Semicorex SiC 코팅의 재료 데이터

일반적인 속성

단위

가치

구조


FCC β상

정위

분수(%)

111 선호

부피 밀도

g/cm3

3.21

경도

비커스 경도

2500

열용량

Jkg-1 K-1

640

열팽창 100~600°C(212~1112°F)

10-6K-1

4.5

영률

Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)

430

입자 크기

μm

2~10

승화 온도

2700

굽힘 강도

MPa(RT 4점)

415

열전도율

(W/mK)

300


결론 CVD SiC 코팅 서셉터는 서셉터와 탄화규소의 특성을 결합한 복합 재료입니다. 이 소재는 고온 및 내화학성, 우수한 내마모성, 높은 열 전도성, 높은 강도 및 강성을 포함한 독특한 특성을 보유하고 있습니다. 이러한 특성으로 인해 반도체 처리, 화학 처리, 열처리, 태양 전지 제조 및 LED 제조를 포함한 다양한 고온 응용 분야에 매력적인 재료가 됩니다.






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지원 도가니

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Semicorex Support Crucible은 태양광 실리콘 결정 성장의 복잡한 프로세스 내에서 중추적인 구성 요소로, 원자재를 광전지 응용 분야에 적합한 고품질 실리콘 잉곳으로 변환하기 위한 확고한 기반 역할을 합니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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SiC 코팅이 적용된 배럴 서셉터

SiC 코팅이 적용된 배럴 서셉터

SiC 코팅이 적용된 Semicorex 배럴 서셉터는 실리콘 에피택셜 공정의 효율성과 정밀도를 높이도록 설계된 최첨단 솔루션입니다. 세부 사항에 세심한 주의를 기울여 제작된 SiC 코팅이 적용된 이 배럴 서셉터는 반도체 제조의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 맞춤 제작되었으며, 최적의 웨이퍼 홀더 역할을 하며 열이 웨이퍼로 원활하게 전달되도록 합니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며, 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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실리콘 에피택시용 SiC 배럴

실리콘 에피택시용 SiC 배럴

Silicon Epitaxy용 Semicorex SiC 배럴은 Applied Materials 및 LPE 장치의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 정밀함과 혁신으로 제작된 이 배럴 모양의 서셉터는 고품질 SiC 코팅 흑연으로 제조되어 실리콘 에피택시 응용 분야에서 탁월한 성능과 내구성을 보장합니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며, 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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SiC 코팅이 적용된 흑연 서셉터

SiC 코팅이 적용된 흑연 서셉터

SiC 코팅이 적용된 Semicorex 흑연 서셉터는 Applied Materials 및 LPE(액상 에피택시) 장치의 실리콘 에피택시 공정을 위해 설계된 필수 구성 요소입니다. 탄화규소(SiC)로 코팅된 고품질 흑연 소재로 제작된 이 서셉터는 반도체 제조 환경에서 탁월한 성능과 수명을 보장합니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며, 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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에피택셜 성장의 예비 부품

에피택셜 성장의 예비 부품

에피택셜 성장의 Semicorex 예비 부품은 에피택셜 성장 시스템, 특히 석영 튜브 설정과 관련된 프로세스에서 활용되는 중요한 구성 요소입니다. 이러한 부품은 트레이 베이스 회전을 구동하고 에피택셜 성장 프로세스 전반에 걸쳐 정밀한 온도 제어를 보장하기 위해 가스 흐름을 촉진하는 데 중요한 역할을 합니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며, 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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CVD SiC 코팅 배럴 서셉터

CVD SiC 코팅 배럴 서셉터

Semicorex CVD SiC 코팅 배럴 서셉터는 고급 반도체 제조 공정, 특히 에피택시에 맞춰 세심하게 설계된 부품입니다. 당사의 제품은 좋은 가격 이점을 갖고 있으며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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Semicorex는 수년 동안 실리콘 카바이드 코팅을(를) 생산해 왔으며 중국의 전문 실리콘 카바이드 코팅 제조업체 및 공급업체 중 하나입니다. 대량 포장을 제공하는 당사의 고급 내구성 제품을 구매하면 대량의 빠른 배송을 보장합니다. 수년에 걸쳐 우리는 고객에게 맞춤형 서비스를 제공했습니다. 고객은 우리 제품과 우수한 서비스에 만족합니다. 우리는 진심으로 귀하의 신뢰할 수 있는 장기 비즈니스 파트너가 되기를 기대합니다! 우리 공장에서 제품을 구입하는 것을 환영합니다.
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