TaC 코팅 흑연 부품

Semicorex TaC 코팅 흑연 부품은 고순도 등방성 흑연으로 만들어졌으며 탄탈륨 탄화물(TaC)로 코팅되어 극한 온도에 대한 탁월한 내성을 제공합니다. TaC 코팅 흑연 부품은 반도체 제조에서 직면하는 엄격한 조건을 견딜 수 있도록 설계되었으며 고품질 반도체 제품 생산에 중요한 다양한 공정을 향상시키는 데 탁월합니다. 탁월한 내열성은 가장 까다로운 열 환경에서도 신뢰성과 수명을 보장합니다.

TaC 코팅 흑연 부품은 확산 공정, 산화 어닐링, LPCVD 및 PECVD를 포함한 주요 반도체 공정 기술을 최적화하는 데 중추적인 역할을 합니다. TaC 코팅 흑연 부품은 온도에 대한 정밀한 제어를 촉진하고 기판 전체의 균일성을 보장함으로써 제품 품질과 제조 효율성을 향상시키는 데 크게 기여합니다.

Semicorex TaC 코팅 흑연 부품은 반도체 제조의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 확산 공정 강화부터 다양한 증착 기술의 품질 및 효율성 향상까지 TaC 코팅 흑연 부품은 반도체 제조의 우수성을 추구하는 데 없어서는 안 될 자산입니다.