TaC 코팅 서셉터

Semicorex TaC 코팅 서셉터는 흑연을 기본 소재로 탄탈륨 카바이드(TaC)를 코팅하여 성능과 내구성을 강화한 제품입니다.

탄탈륨 카바이드는 탁월한 열 안정성을 제공하므로 TaC 코팅 서셉터는 화학 기상 증착(CVD) 및 물리 기상 증착(PVD)과 같은 공정에서 흔히 발생하는 매우 높은 온도를 견딜 수 있습니다. 또한 TaC 코팅은 화학 반응, 산화 및 부식에 대한 탁월한 저항성을 제공하며, 이는 가혹한 화학 환경에서 무결성과 성능을 유지하는 데 중요합니다.

TaC 코팅 서셉터의 균일하고 안정적인 열 특성은 사용되는 공정의 일관성과 품질을 향상시켜 반도체 제조의 수율과 효율성을 향상시킵니다.

한편, TaC 코팅 서셉터에 TaC를 사용하면 고순도, 무결함 전자 부품 생산에 중요한 반도체 공정의 오염 위험을 최소화할 수 있습니다.

TaC 코팅 서셉터의 응용:

반도체 제조: CVD 및 PVD 공정에서 반도체 웨이퍼에 박막과 에피택셜 층을 증착하는 데 사용됩니다.

LED 생산: 정확하고 안정적인 열 조건이 필요한 발광 다이오드(LED) 생산에 사용됩니다.

태양전지 제조: 효율성과 신뢰성을 높이기 위해 광전지 제조에 사용됩니다.

Semicorex TaC 코팅 서셉터는 높은 열 안정성, 내화학성 및 내구성이 요구되는 고급 제조 공정에 매우 중요합니다. 이를 적용하면 하이테크 산업에서 향상된 성능, 수명 및 제품 품질이 보장됩니다.