TaC 코팅 웨이퍼 수용체

Semicorex TaC 코팅 웨이퍼 서셉터는 반도체 에피택셜(epi) 처리를 위한 MOCVD(금속-유기 화학 기상 증착)로에 사용되는 중요한 구성 요소입니다. 이 특수 원형 서셉터는 고품질 흑연 소재로 제작되었으며 고유한 TaC(탄탈륨 카바이드) 코팅이 특징입니다.

TaC 코팅의 주요 목적은 까다로운 반도체 제조 공정 조건에서 TaC 코팅 웨이퍼 서셉터의 성능과 내구성을 향상시키는 것입니다. 탄탈륨 카바이드는 탁월한 경도, 높은 융점, 마모 및 부식에 대한 저항성으로 잘 알려져 있습니다. 이러한 특성으로 인해 TaC 코팅 웨이퍼 서셉터는 MOCVD 로 내에서 발생하는 화학 반응 및 물리적 응력으로부터 기본 흑연 서셉터를 보호하기 위한 이상적인 선택입니다.

TaC Coated Wafer Susceptor는 웨이퍼에 박막을 증착하는 과정을 촉진하여 반도체 소재의 에피택셜 성장에 중요한 역할을 합니다. 고온과 가혹한 화학적 환경을 견딜 수 있는 능력은 정확하고 안정적인 반도체 장치 제조를 달성하는 데 중요합니다.

흑연 코어와 탄탈륨 카바이드 코팅이 적용된 TaC 코팅 웨이퍼 서셉터는 일관되고 균일한 열 분포를 보장하여 MOCVD 공정 중에 성장된 반도체 층의 재현성과 품질에 기여합니다. 이 고급 소재 조합은 반도체 제조를 위한 안정적이고 내구성 있는 솔루션을 제공하여 현대 전자 장치 생산의 엄격한 요구 사항을 충족합니다.