TAC 코팅 반달 부분

TAC 세라믹은 최대 3880 ° C, 높은 경도 (MOHS 경도 9-10), 큰 열전도율 (22W · M-1 · K-1), 큰 굽힘 강도 (340-400MPA) 및 작은 열 팽창 계수 (6.6 × 10-6K-1)의 용융점이 있습니다. 또한 우수한 열 화학적 안정성과 우수한 물리적 특성을 나타내며 흑연 및 C/C 복합재와 우수한 화학적 및 기계적 호환성을 갖습니다. 따라서, TAC 코팅은 항공 우주 열 보호, 단결정 성장, 에너지 전자 장치 및 의료 기기에 널리 사용됩니다.

Tac- 코팅 된 흑연은 베어 족도 또는 Sic 코팅 된 흑연보다 화학적 차단 저항성이 우수하며, 2600 °의 고온에서 안정적으로 사용될 수 있으며 많은 금속 요소와 반응하지 않습니다. 그것은 3 세대 반도체 단결정 성장 및 웨이퍼 에칭 시나리오에서 가장 좋은 코팅이며, 과정에서 온도와 불순물의 제어를 크게 향상시키고 고품질의 실리콘 탄화물 웨이퍼 및 관련 에피 택셜 웨이퍼를 준비 할 수 있습니다. 특히 MoCVD 장비로 GAN 또는 ALN 단결정을 재배하고 PVT 장비로 SIC 단결정 성장에 적합합니다. 성장한 단결정의 품질이 크게 향상되었습니다.

이 제품은 에피 택시 프로세스에서 정밀도, 효율 및 내구성을 우선시하는 제조업체에게 이상적인 솔루션입니다. 반도체 산업의 진화하는 요구를 충족시키기 위해 고성 고성 솔루션에 대한 Semicorex를 신뢰하십시오.