TaC 코팅 서셉터

TaC(탄탈륨 카바이드) 코팅 서셉터는 고품질 흑연으로 세심하게 제작되었으며 탄탈륨 카바이드 코팅으로 강화된 재료 공학의 정점을 나타냅니다. 주로 SiC 결정 성장 및 SiC 에피택시 공정에 사용하도록 설계된 이 혁신적인 구성 요소는 극한의 열 및 화학적 환경에서 내구성과 성능의 상징입니다.

TaC 코팅은 흑연 구성 요소의 작동 수명을 연장하는 동시에 반응의 화학량론을 꼼꼼하게 보존하고 결정 성장 및 에피택셜 공정 중 불순물 이동을 완화하는 등 다각적인 목적을 제공합니다. TaC 코팅 서셉터는 에피택셜 층과 결정 형성에 불순물이 침입하는 것을 방지함으로써 수율과 품질 결과를 변함없이 향상시킵니다.

이러한 공정에 내재된 극심한 온도를 견디도록 설계된 TaC 코팅 서셉터는 탁월한 열 안정성을 보여 2200°C를 초과하는 환경에서도 안정적으로 유지됩니다. 이러한 탁월한 탄력성은 극심한 열에도 불구하고 원활한 기능을 보장하여 타협 없이 지속적인 작동을 가능하게 합니다.

TaC 코팅 서셉터의 견고한 구조는 수소(H2), 암모니아(NH3), 실란(SiH4) 및 실리콘(Si)의 부식 효과에 영향을 받지 않도록 하여 가혹한 화학적 환경의 혹독함에 대한 보호 장벽을 제공합니다. 이러한 특성으로 인해 엄격한 화학적 호환성이 요구되는 응용 분야에서 없어서는 안 될 자산이 되어 가장 까다로운 조건에서도 작동 무결성을 보장합니다.

또한, TaC 코팅 서셉터는 공정 무결성을 손상시킬 수 있는 외부 불순물이나 오염 물질을 제거하도록 세심하게 설계된 최상급 순도를 자랑합니다. 초고순도 구성은 최고의 청결성과 신뢰성을 보장하며 제품 품질 및 수율 최적화를 보장하는 데 없어서는 안 될 역할을 강조합니다.