TaC 코팅 웨이퍼 척

Semicorex TaC 코팅 웨이퍼 척은 흑연 기판에 탄탈륨(TaC) 코팅을 적용하여 제작되었습니다. 재료의 신중한 선택과 세심한 엔지니어링은 업계에서 이 제품의 중요성을 강조합니다.

흑연에 TaC 코팅을 사용하는 주요 이점은 이러한 재료의 열팽창 특성에 있습니다. 열팽창계수(CTE)는 가열될 때 재료가 얼마나 팽창하는지를 측정합니다. 반도체 제조에서는 코팅의 CTE가 기판의 CTE와 밀접하게 일치하는 것이 중요합니다. 상당한 불일치로 인해 응력이 가해지고 결국 코팅이 실패할 수 있습니다. CTE가 TaC의 CTE와 매우 가까운 흑연 재료를 선택함으로써 TaC 코팅이 흑연 기판에 강력하게 접착되도록 합니다. 이러한 호환성은 박리 위험을 줄이고 TaC 코팅 웨이퍼 척의 작동 수명을 연장합니다.

TaC 코팅은 TaC 코팅 웨이퍼 척의 경도와 내마모성을 향상시키며, 이는 에피택시 공정의 반복 주기 동안 정확하고 안정적인 성능을 유지하는 데 중요합니다. TaC의 높은 융점은 TaC 코팅 웨이퍼 척이 품질 저하 없이 반도체 제조 중에 직면하는 극한의 온도를 견딜 수 있도록 보장합니다. 또한 TaC의 화학적 불활성은 부식성 가스 및 에피택시 공정에 사용되는 기타 반응성 물질로부터 기본 흑연을 보호합니다.

실제로 이러한 재료 특성은 성능을 크게 향상시킵니다. TaC 코팅 웨이퍼 척의 향상된 내구성과 안정성으로 인해 교체 횟수가 줄어들어 가동 중지 시간과 유지 관리 비용이 절감됩니다. 높은 열 안정성은 가장 까다로운 조건에서도 일관된 성능을 보장하여 반도체 제조의 수율을 높이는 데 기여합니다.

Semicorex TaC 코팅 웨이퍼 척은 고급 재료 공학과 사려 깊은 디자인을 선보입니다. 탄탈륨 카바이드와 흑연의 특성을 결합하여 우리는 반도체 에피택시 공정의 엄격한 요구 사항을 충족하는 제품을 개발했습니다. 뛰어난 내구성, 열 안정성, 내화학성으로 인해 반도체 제조 산업에서 없어서는 안 될 부품입니다. 이 혁신적인 접근 방식은 성능과 신뢰성을 향상시킬 뿐만 아니라 더욱 지속 가능하고 비용 효율적인 제조 운영에 기여합니다. 반도체 산업이 계속 발전함에 따라 TaC 코팅 웨이퍼 척은 차세대 기술의 과제를 해결할 준비가 되어 있습니다.