탄탈륨 카바이드 척

Semicorex 탄탈륨 카바이드 척은 최대 3880°C의 온도를 견딜 수 있는 뛰어난 열 안정성을 자랑합니다. 이 특성은 탄탈륨 카바이드 척이 화학 기상 증착(CVD) 및 물리 기상 증착(PVD)과 같은 공정에 필수적인 극한의 열 조건에서도 구조적 무결성과 성능을 유지하도록 보장합니다.  다이아몬드와 비슷한 경도 값을 지닌 탄탈륨 카바이드 척은 탁월한 내마모성을 나타냅니다. 이 특성은 정밀도와 내구성이 가장 중요한 반도체 제조에 매우 중요합니다. 높은 경도로 인해 마모가 최소화되어 척의 수명이 연장되고 유지관리 비용이 절감됩니다. 탄탈륨 카바이드는 특히 공격적인 산과 알칼리가 포함된 환경에서 화학적 부식에 대한 저항력이 매우 높습니다. 이러한 저항성은 탄탈륨 카바이드 척이 다양한 반도체 공정에 사용되는 부식성 물질의 영향을 받지 않고 시간이 지나도 성능과 신뢰성을 유지하도록 보장합니다.

탄탈륨 카바이드 척은 반도체 제조 기술의 중요한 발전을 나타냅니다. 비교할 수 없는 열 안정성, 경도, 내식성 및 전기 전도성으로 인해 광범위한 반도체 제조 공정에 없어서는 안 될 구성 요소입니다. TaC Chuck을 탑재함으로써 제조업체는 생산 라인의 정밀도 향상, 내구성 향상, 전반적인 효율성 향상을 달성하여 궁극적으로 반도체 산업 발전에 기여할 수 있습니다.