탄탈륨 카바이드 코팅 링

Semicorex Tantalum Carbide Coated Ring은 반도체 공정에 사용되는 중요한 부품입니다. 이는 반도체 기계 내 흑연 부품의 효율성과 수명을 향상시키기 위해 다양한 기능을 제공하는 특수 코팅으로 설계되었습니다. 이 TaC 코팅은 극한의 조건을 견디고 고온 환경에서 최적의 성능을 유지하도록 설계되어 2200°C를 초과하는 온도에서도 안정적인 작동을 보장합니다.

탄탈륨 카바이드 코팅 링의 주요 특징과 이점은 다음과 같습니다.

수명 연장: 탄탈륨 카바이드 코팅 링 코팅의 주요 기능은 화학 반응에 대한 보호 장벽을 제공하고 불순물이 외부 층으로 이동하고 결정 성장하는 것을 방해하여 흑연 구성 요소의 수명을 연장하는 것입니다. 이를 통해 작동 수명이 크게 향상되고 유지 관리 빈도가 줄어듭니다.

온도 안정성: 뛰어난 온도 안정성 덕분에 탄탈륨 카바이드 코팅 링은 극한의 열 조건에서도 안정적으로 작동하여 고온이 만연한 반도체 처리 환경에서 일관된 성능을 보장합니다.

내화학성: 탄탈륨 카바이드 코팅 링의 코팅은 수소(H2), 암모니아(NH3), 실란(SiH4) 및 실리콘(Si)과 같은 다양한 가혹한 화학 물질에 대한 저항성을 제공하여 반도체에서 흔히 발생하는 화학적으로 공격적인 환경에서 중요한 보호 기능을 제공합니다. 제조 공정.

열 충격 저항: 탄탈륨 카바이드 코팅 링의 열 충격에 대한 저항이 강화되어 급격한 온도 변동 시 구조적 손상 위험을 최소화하여 작동 주기를 가속화하고 전반적인 효율성을 향상시킵니다.

흑연에 대한 강력한 접착력: 탄탈륨 카바이드 코팅 링의 코팅은 흑연 기판에 대한 강력한 접착력을 보여 코팅과 일반적으로 관련된 박리 문제를 방지합니다. 이는 코팅 분리 위험 없이 수명 연장과 일관된 성능을 보장합니다.

고순도: 초고순도 수준의 탄탈륨 카바이드 코팅 링은 불필요한 불순물이나 오염 물질을 제거하여 반도체 공정의 무결성과 청결성을 보장함으로써 더 높은 수율과 향상된 품질 결과에 기여합니다.