실리콘 보트

Semicorex 실리콘 보트는 주로 고온 결정 성장, 반도체 생산 및 관련 광기 전 부문에 주로 사용되는 특수 성분입니다. 이들은 고순도 실리콘으로 구성되며 열 가공 동안 웨이퍼, 기판 또는 원료를 유지하기 위해 만들어졌습니다. 이를 통해 프로세스는 깨끗한 환경과 통제 된 환경에서 발생하여 재료가 오염없이 청결하고 신뢰할 수있는 성능을 유지하는 데 매우 중요합니다.

그들은 고급 형성 및 소결 기술을 사용하여 만들어지며, 실리콘 보트는 우수한 치수 정확도와 우수한 매끄러운 표면 마감을 제공합니다. 이는 기판 또는 보트에 로딩 된 성분의 균일 한 가열을 달성하는 데 중요하며, 이는 가열 및 냉각 사이클 동안 열 구배 및 결함이 낮습니다. 또한, 이들은 실리콘의 높은 융점을 가지고있어 보트는 재료의 변형 또는 분해없이 모든 공정 (예 : 확산, 산화, 에피 택시) 동안 극도의 온도를 견딜 수 있음을 의미합니다. 마지막으로, 그들은 실리콘에 대한 열 팽창 계수가 낮으며, 이는 또한 기계적 안정성을 제공하고 빠른 열 변화와 상호 작용할 때 균열 및 뒤틀림 가능성을 줄입니다.

실리콘 보트와 관련된 주요 이점 중 하나는 높은 화학적 불활성입니다. 공격적인 공정 환경에서 실리콘 보트는 할로겐, 산 및 반응성 가스에 의해 공격을받지 않으므로 보트가 표면 저하를받지 않거나 수율 및 제품 품질을 위태롭게 할 수있는 가공 챔버로 오염 물질의 가변성을 생성 할 수있는 상당한 보험을 제공합니다. > 99.999% 순도를 초과 할 수있는 물질의 순도는 또한 반도체 제조에서도 미세한 양의 오염 물질의 존재가 최종 장치의 전기적 특성에 크게 영향을 줄 수 있기 때문에 매우 중요합니다.

공정의 Ingot 성장 부분 외에도, 실리콘 보트는 대부분의 웨이퍼 제조 단계에서 사용되며 열처리 공정 동안 실리콘 기판의 신뢰할 수 있고 예측 가능한 캐리어로서 사용됩니다. 실리콘 보트는 각 샘플을 동일한 가열 및 노출 시간에 노출시킵니다. 일관성은 결정 품질을 유지하는 데 중요합니다. 또한 모든 유형의 용광로 설계 및 프로세스 분위기로 구현 될 수 있으므로 대부분의 처리 라인에 보편적 인 응용 프로그램을 갖춘 제품입니다. 내부 구획의 매끄러운 표면은 다른 실제 거친 표면에 비해 웨이퍼의 더 얇은 기계적 구조에 손상이 적어 최종 수율 속도를 향상시키는 동시에 미세 생산 위험이 낮아집니다.

실리콘 보트는 반도체 산업 확산 또는 이온 이식 공정에서 생산에 필수적이며, 여기서 웨이퍼는 보트 가장자리에서 측면을 따라 온도를 정확하게 제어하고 균일하게 가열되어야합니다. 실리콘의 강도 및 열 전도성은 제조업체가 공정 온도를 제어하여 사이클 시간을 최소화하고 전체 공정의 효율을 최적화하기에 충분한 해상도를 제공합니다. 물질의 불활성은 도핑 프로파일을 엄격하게 제어 할 수있는 가스 형태의 도펀트와의 상호 작용을 손상시키지 않을 것이다.

실리콘 보트는 5 월에 평평하고 슬롯 형 및 개별 제조업체의 프로세스 요구 사항을 충족시키는 다양한 맞춤형 모양을 포함하는 다양한 모양과 크기를 설계 할 수 있습니다. 벽 두께, 슬롯 너비 및 다양한 크기의 웨이퍼 수를 충족시키는 설계를 포함한 몇 가지 사용자 정의 옵션이 있습니다. 이 옵션을 사용하면 제조업체가 열 흐름, 보트의 최대 용량 및 보트의 적재/언로드를 제어 할 수 있습니다.

실리콘 보트 표면의 이점이 보트의 유지와 유용한 수명입니다. 일반적으로 실리콘 보트는 지속적인 서비스 수명을 제공하면서 고온 영역에서 보트를 정기적으로 청소하기위한 여러 취급 및 청소 절차를 유지하면서 많은 '빠른 열 사이클링'을 볼 수 있습니다. 잘 관리 된 구조를 사용하면 교체 주파수가 줄어들어 운영 비용이 줄어들고 다운 타임이 줄어 듭니다.

실리콘 보트는 현대 반도체 및 태양 광 제조에서 중요하며, 공정 제어 및 오염 방지가 핵심입니다. 실리콘 보트의 순도, 열 안정성, 기계적 내구성 및 화학적 안정성은 정확한 요구가있는 공정에서 사용할 수있게합니다. 실험실 환경이나 더 큰 산업 관행에서 실리콘 보트는 제품 품질을 향상시키고 수율을 향상 시키며 효율성을 향상시키는 방식으로 일정한 성능을 제공 할 수 있습니다.

이러한 혜택을 극대화하는 것은 고품질 실리콘 보트 공급 업체를 찾는 것으로 시작됩니다. 우수한 품질 관리, 정밀 가공 및 순수한 재료를 설립하는 공급 업체 제조업체는 정밀한 세부 사항, 치수 한계 및 표면 품질로 측정 할 수는 없지만 거의 모든 응용 분야 사용에서 오래 지속되는 성능 및 신뢰성을 위해 순수한 재료로 만든 실리콘 보트를 생산하는 실리콘 보트를 제공 할 수 있습니다. 실리콘 보트를 사용하여 실리콘 보트의 유용성과 차세대 반도체 장치 및 고효율 PV 태양 전지를 사용하여 실리콘 제조를 식별하는 데있어 실리콘 보트를 사용하여 생산되고 있습니다.