반도체 에피택셜 반응기의 배럴 구조

반도체 에피택시얼 반응기용 Semicorex 배럴 구조는 뛰어난 내열성과 내식성을 요구하는 고성능 흑연 서셉터 응용 분야에 적합한 선택입니다. 고순도 SiC 코팅과 우수한 밀도 및 열 전도성은 탁월한 보호 및 열 분산 특성을 제공하여 가장 까다로운 환경에서도 안정적이고 일관된 성능을 보장합니다.

당사의 반도체 에피택셜 반응기용 배럴 구조는 최상의 층류 가스 흐름 패턴을 달성하도록 설계되어 열 프로파일의 균일성을 보장합니다. 이는 오염이나 불순물 확산을 방지하여 웨이퍼 칩의 고품질 에피택셜 성장을 보장합니다.

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반도체 에피택셜 반응기의 배럴 구조 매개변수

반도체 에피택셜 반응기의 배럴 구조 특징

- 흑연 기판과 탄화 규소 층은 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.

- 단결정 성장에 사용되는 실리콘 카바이드 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 결합 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.

- 흑연 기판과 탄화 규소 층 모두 열 전도성이 높고 열 분포 특성이 우수합니다.

- 높은 융점, 고온 내 산화성, 내식성.