카바이드 코팅 반응기 배럴 서셉터

반도체 웨이퍼의 에피택셜 층 형성을 위한 고성능 흑연 서셉터를 찾고 있다면 Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor가 탁월한 선택입니다. 탄화규소 코팅은 뛰어난 열 분포와 열 전도성을 제공하여 가장 까다로운 고온 환경에서도 탁월한 성능을 보장합니다.

Semicorex에서는 고품질의 비용 효율적인 카바이드 코팅 원자로 배럴 서셉터 제공에 중점을 두고 고객 만족을 최우선으로 하며 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 우리는 고품질 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

탄화물 코팅 반응기 배럴 서셉터의 매개변수

카바이드 코팅 반응기 배럴 서셉터의 특징

- 흑연 기판과 탄화 규소 층은 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.

- 단결정 성장에 사용되는 탄화 규소 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 결합 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.

- 흑연 기판과 탄화 규소 층 모두 열 전도성이 높고 열 분포 특성이 우수합니다.

- 높은 융점, 고온 내 산화성, 내식성.