Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor는 LPE 공정을 위해 특별히 설계된 고순도 SiC로 코팅된 프리미엄 품질의 흑연 제품입니다. 내열성, 내식성이 우수하여 반도체 제조용으로 적합합니다.
반도체 웨이퍼의 에피택시층 형성을 위한 고성능 흑연 서셉터를 찾고 있다면 Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor가 탁월한 선택입니다. 실리콘 카바이드 코팅은 우수한 열 분포 및 열 전도성을 제공하여 가장 까다로운 고온 환경에서도 탁월한 성능을 보장합니다.
Semicorex는 고품질의 비용 효율적인 카바이드 코팅 원자로 배럴 서셉터를 제공하는 데 중점을 두고 있으며 고객 만족을 우선시하고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 고품질 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
카바이드 코팅 반응기 배럴 서셉터의 매개변수
CVD-SIC 코팅의 주요 사양 |
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SiC-CVD 속성 |
||
결정 구조 |
FCC β 단계 |
|
밀도 |
g/cm ³ |
3.21 |
경도 |
비커스 경도 |
2500 |
입자 크기 |
μm |
2~10 |
화학적 순도 |
% |
99.99995 |
열용량 |
J·kg-1·K-1 |
640 |
승화 온도 |
℃ |
2700 |
쇠약한 힘 |
MPa(RT 4점) |
415 |
영률 |
GPA (4pt 굽힘, 1300â) |
430 |
열팽창(C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
열 전도성 |
(W/mK) |
300 |
카바이드 코팅 원자로 배럴 서셉터의 특징
- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.
- 단결정 성장에 사용되는 탄화 규소 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.
- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 접착 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.
- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 열전도율이 높고 열분산 특성이 우수합니다.
- 고융점, 고온 내산화성, 내식성.