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카바이드 코팅 원자로 배럴 서셉터

카바이드 코팅 원자로 배럴 서셉터

Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor는 LPE 공정을 위해 특별히 설계된 고순도 SiC로 코팅된 프리미엄 품질의 흑연 제품입니다. 내열성, 내식성이 우수하여 반도체 제조용으로 적합합니다.

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제품 설명

반도체 웨이퍼의 에피택시층 형성을 위한 고성능 흑연 서셉터를 찾고 있다면 Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor가 탁월한 선택입니다. 실리콘 카바이드 코팅은 우수한 열 분포 및 열 전도성을 제공하여 가장 까다로운 고온 환경에서도 탁월한 성능을 보장합니다.

Semicorex는 고품질의 비용 효율적인 카바이드 코팅 원자로 배럴 서셉터를 제공하는 데 중점을 두고 있으며 고객 만족을 우선시하고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 고품질 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.


카바이드 코팅 반응기 배럴 서셉터의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


카바이드 코팅 원자로 배럴 서셉터의 특징

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.

- 단결정 성장에 사용되는 탄화 규소 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 접착 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 열전도율이 높고 열분산 특성이 우수합니다.

- 고융점, 고온 내산화성, 내식성.




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