SiC 코팅 배럴 서셉터

Semicorex는 중국의 SiC 코팅 배럴 서셉터의 대규모 제조업체이자 공급업체입니다. 탄화규소층, 에피택시 반도체 등 반도체 산업에 주력하고 있습니다. 당사의 제품은 가격 경쟁력이 뛰어나며 유럽 및 미국 시장의 많은 부분을 포괄합니다. 우리는 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

세미코렉스SiC 코팅 배럴 서셉터고순도 SiC 코팅 흑연 캐리어는 웨이퍼 칩의 에피택셜 층을 성장시키는 공정에 사용되며 많은 에피택셜 반응기에 적합합니다. 내열성과 내식성이 뛰어나 극한 환경에서도 안정성이 뛰어납니다.
우리의SiC 코팅배럴 서셉터는 또한 고온 산화 및 부식에 강하므로 신뢰성 있고 내구성이 뛰어난 제품입니다. 융점이 높기 때문에 효율적인 반도체 제조에 필요한 고온 환경을 견딜 수 있습니다.
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매개변수SiC 코팅배럴 수신기

CVD-SIC 코팅 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β상
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	Jkg-1 K-1	640
승화 온도	℃	2700
굽힘 강도	MPa(RT 4점)	415
영률	Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열전도율	(W/mK)	300