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LPE용 실리콘 카바이드 SiC 코팅 배럴 서셉터
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LPE용 실리콘 카바이드 SiC 코팅 배럴 서셉터

Semicorex는 중국의 LPE용 실리콘 카바이드 SiC 코팅 배럴 서셉터의 대규모 제조업체이자 공급업체입니다. 우리는 실리콘 카바이드 레이어 및 에피택시 반도체와 같은 반도체 산업에 중점을 둡니다. 우리의 제품은 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 많은 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

Semicorex Silicon Carbide SiC Coated Barrel Susceptor for LPE는 LPE에 적합한 웨이퍼 칩의 에피층을 성장시키는 공정에 사용되는 고순도 SiC 코팅 흑연 캐리어입니다. 내열성 및 내식성이 높아 극한 환경에서도 안정성이 뛰어납니다.

당사의 LPE용 실리콘 카바이드 SiC 코팅 배럴 서셉터는 또한 고온 산화 및 부식에 강하여 신뢰할 수 있고 내구성 있는 제품입니다. 녹는점이 높아 효율적인 반도체 제조에 필요한 고온 환경을 견딜 수 있습니다.

LPE용 실리콘 카바이드 SiC 코팅 배럴 서셉터에 대해 자세히 알아보려면 지금 문의하십시오.


LPE용 실리콘 카바이드 SiC 코팅 배럴 서셉터의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


LPE용 실리콘 카바이드 SiC 코팅 배럴 서셉터의 특징

- 박리를 피하고 모든 표면에 코팅을 하십시오.

고온 내산화성: 최대 1600°C의 고온에서 안정적

고순도: 고온 염소화 조건에서 CVD 화학 기상 증착에 의해 만들어집니다.

내식성: 높은 경도, 조밀한 표면 및 미세 입자.

내식성: 산, 알칼리, 염 및 유기 시약.

- 최고의 층류 가스 흐름 패턴 달성

- 열 프로파일의 균일성 보장

- 오염이나 불순물 확산 방지




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