에피택셜 반응기 챔버용 SiC 코팅 서셉터 배럴

Semicorex의 에피택셜 반응기 챔버용 SiC 코팅 서셉터 배럴은 최고 수준의 정밀도와 내구성에 따라 제조된 프리미엄 품질의 제품입니다. 우수한 열 전도성과 내식성을 제공하며 반도체 제조의 대부분의 에피택셜 반응기에 매우 적합합니다.
에피택시얼 반응기 챔버용 SiC 코팅 서셉터 배럴은 최고의 층류 가스 흐름 패턴을 달성하도록 설계되어 열 프로파일의 균일성을 보장합니다. 이는 오염이나 불순물 확산을 방지하여 웨이퍼 칩의 고품질 에피택시 성장을 보장합니다.
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에피택셜 반응기 챔버용 SiC 코팅 서셉터 배럴의 매개변수

에피택셜 반응기 챔버용 SiC 코팅 서셉터 배럴의 특징

- 흑연 기판과 탄화 규소 층은 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.

- 단결정 성장에 사용되는 탄화 규소 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.

- 흑연 기판과 탄화 규소 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 결합 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.

- 흑연 기판과 탄화 규소 층 모두 높은 열 전도성과 우수한 열 분포 특성을 가지고 있습니다.

- 높은 융점, 고온 내 산화성, 내식성.