> 제품 > 실리콘 카바이드 코팅 > 배럴 서셉터 > LPE 반응기 챔버용 SiC 코팅 서셉터 배럴
LPE 반응기 챔버용 SiC 코팅 서셉터 배럴

LPE 반응기 챔버용 SiC 코팅 서셉터 배럴

Semicorex의 LPE 반응기 챔버용 SiC 코팅 서셉터 배럴은 우수한 열 분포 및 열 전도성 특성을 특징으로 하는 반도체 제조 공정을 위한 매우 안정적인 솔루션입니다. 또한 부식, 산화 및 고온에 매우 강합니다.

문의 보내기

제품 설명

Semicorex의 LPE 반응기 챔버용 SiC 코팅 서셉터 배럴은 최고 수준의 정밀도와 내구성으로 제조된 프리미엄 품질의 제품입니다. 우수한 열 전도성, 내식성을 제공하며 반도체 제조의 LPE 응용 분야에 매우 적합합니다.

LPE 반응기 챔버용 SiC 코팅 서셉터 배럴은 최고의 층류 가스 흐름 패턴을 달성하도록 설계되어 균일한 열 프로필을 보장합니다. 이는 오염이나 불순물 확산을 방지하여 웨이퍼 칩에서 고품질 에피택셜 성장을 보장합니다.

LPE 반응기 챔버용 SiC 코팅 서셉터 배럴에 대해 자세히 알아보려면 지금 문의하십시오.


LPE 반응기 챔버용 SiC 코팅 서셉터 배럴의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


LPE 반응기 챔버용 SiC 코팅 서셉터 배럴의 특징

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.

- 단결정 성장에 사용되는 탄화 규소 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 접착 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 열전도율이 높고 열분산 특성이 우수합니다.

- 고융점, 고온 내산화성, 내식성.




핫 태그: LPE 반응기 챔버용 SiC 코팅 서셉터 배럴, 중국, 제조업체, 공급업체, 공장, 맞춤형, 대량, 고급, 내구성

관련 카테고리

문의 보내기

문의사항은 아래 양식으로 부담없이 보내주세요. 24시간 이내에 회신해 드리겠습니다.