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EPI 3 1/4

EPI 3 1/4" 배럴 서셉터

Semicorex SiC 코팅 EPI 3 1/4" Barrel Susceptor는 뛰어난 열 안정성과 화학적 공격에 대한 저항성을 제공하는 반면 흑연 기판은 우수한 열 전달 특성을 제공합니다.

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제품 설명

Semicorex EPI 3 1/4" 배럴 서셉터는 고순도 SiC로 코팅된 고품질 흑연 제품으로 뛰어난 내열성 및 내부식성을 제공합니다. 반도체 제조 산업의 LPE 응용 분야를 위해 특별히 설계되었습니다.

당사의 EPI 3 1/4" Barrel Susceptors는 항공 우주, 자동차 및 전자 제품을 포함한 다양한 산업에서 사용하도록 설계되었습니다. 당사는 경쟁력 있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 고객과의 관계 SiC 코팅 흑연 도가니에 대해 자세히 알아보고 귀사의 비즈니스에 어떻게 도움이 되는지 지금 문의하십시오.


EPI 3 1/4" 배럴 서셉터의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


EPI 3 1/4" 배럴 서셉터의 특징

SiC 코팅은 뛰어난 열 안정성과 화학적 공격에 대한 저항성을 제공합니다.

우수한 열 전달 특성을 제공하는 흑연 기판

고밀도 및 경도

높은 화학적 순도

높은 열용량

높은 승화 온도

높은 굽힘 강도

높은 영률

낮은 열팽창 계수

높은 열전도율




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