Semicorex SiC 코팅 EPI 3 1/4" 배럴 서셉터는 우수한 열 안정성과 화학적 공격에 대한 저항성을 제공하는 동시에 흑연 기판은 우수한 열 전달 특성을 제공합니다.
Semicorex EPI 3 1/4" 배럴 서셉터는 고순도 SiC로 코팅된 고품질 흑연 제품으로 탁월한 내열성 및 내식성을 제공합니다. 이는 반도체 제조 산업의 LPE 응용 분야용으로 특별히 설계되었습니다.
당사의 EPI 3 1/4" 배럴 서셉터는 항공우주, 자동차, 전자를 포함한 다양한 산업 분야에서 사용하도록 설계되었습니다. 당사는 경쟁력 있는 가격에 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 장기적인 제품 구축에 전념하고 있습니다. 고객과의 관계에 대해 자세히 알아 보려면 지금 문의하십시오.SiC 코팅흑연 도가니와 이것이 귀하의 비즈니스에 어떻게 도움이 될 수 있는지 알아보세요.
EPI 3 1/4" 배럴 서셉터의 매개변수
주요사양CVD-SIC코팅 |
||
SiC-CVD 속성 |
||
결정 구조 |
FCC β상 |
|
밀도 |
g/cm ³ |
3.21 |
경도 |
비커스 경도 |
2500 |
입자 크기 |
μm |
2~10 |
화학적 순도 |
% |
99.99995 |
열용량 |
Jkg-1 K-1 |
640 |
승화 온도 |
℃ |
2700 |
굽힘 강도 |
MPa(RT 4점) |
415 |
영률 |
Gpa (4pt 굴곡, 1300℃) |
430 |
열팽창(C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
열전도율 |
(W/mK) |
300 |
EPI 3 1/4" 배럴 수신기의 특징
SiC 코팅우수한 열 안정성과 화학적 공격에 대한 저항성을 제공합니다.
흑연 기판은 우수한 열 전달 특성을 제공합니다.
고밀도 및 경도
높은 화학적 순도
높은 열용량
높은 승화 온도
높은 굽힘 강도
높은 영률
낮은 열팽창 계수
높은 열전도율