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실리콘 카바이드 SiC 코팅 배럴 서셉터
Semicorex는 반도체 제조의 실리콘 카바이드 코팅 흑연, 실리콘 카바이드 세라믹, MOCVP 분야에 초점을 맞춘 실리콘 카바이드 SiC 코팅 배럴 서셉터, 정밀 가공 고순도 흑연의 독립적 소유 선두 제조업체입니다. 당사의 실리콘 카바이드 SiC 코팅 배럴 서셉터는 가격 이점이 뛰어나며 많은 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
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제품 설명
세미코렉스실리콘 카바이드 SiC 코팅 배럴 서셉터고순도 SiC를 코팅한 흑연 제품으로 내열성과 내식성이 우수합니다. LPE에 적합합니다. 그만큼실리콘 카바이드SiC 코팅 배럴 서셉터(SiC Coated Barrel Susceptor)는 반도체 웨이퍼에 에피시얼층을 형성하는 공정에 사용되는 열전도율이 높고 열분포 특성이 우수한 제품입니다.
지금 저희에게 연락하여 당사에 대해 자세히 알아보세요.실리콘 카바이드SiC 코팅 배럴 서셉터.
매개변수실리콘 카바이드 SiC 코팅배럴 수신기
|
CVD-SIC 코팅 주요 사양 |
||
|
SiC-CVD 속성 |
||
|
결정 구조 |
FCC β상 |
|
|
밀도 |
g/cm ³ |
3.21 |
|
경도 |
비커스 경도 |
2500 |
|
입자 크기 |
μm |
2~10 |
|
화학적 순도 |
% |
99.99995 |
|
열용량 |
J·kg-1·K-1 |
640 |
|
승화 온도 |
℃ |
2700 |
|
굽힘 강도 |
MPa(RT 4점) |
415 |
|
영률 |
Gpa (4pt 굴곡, 1300℃) |
430 |
|
열팽창(C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
|
열 전도성 |
(W/mK) |
300 |
특징실리콘 카바이드 SiC 코팅배럴 수신기
- 흑연 기판과 탄화 규소 층은 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.
- 단결정 성장에 사용되는 탄화 규소 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.
- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 결합 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.
- 흑연 기판과 탄화 규소 층 모두 열 전도성이 높고 열 분포 특성이 우수합니다.
- 높은 융점, 고온 내 산화성, 내식성.
핫 태그: 실리콘 카바이드 SiC 코팅 배럴 서셉터, 중국, 제조업체, 공급업체, 공장, 맞춤형, 대량, 고급, 내구성
제품 태그
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