실리콘 카바이드 SiC 코팅 배럴 서셉터

Semicorex는 반도체 제조의 실리콘 카바이드 코팅 흑연, 실리콘 카바이드 세라믹, MOCVP 분야에 초점을 맞춘 실리콘 카바이드 SiC 코팅 배럴 서셉터, 정밀 가공 고순도 흑연의 독립적 소유 선두 제조업체입니다. 당사의 실리콘 카바이드 SiC 코팅 배럴 서셉터는 가격 이점이 뛰어나며 많은 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

세미코렉스실리콘 카바이드 SiC 코팅 배럴 서셉터고순도 SiC를 코팅한 흑연 제품으로 내열성과 내식성이 우수합니다. LPE에 적합합니다. 그만큼실리콘 카바이드SiC 코팅 배럴 서셉터(SiC Coated Barrel Susceptor)는 반도체 웨이퍼에 에피시얼층을 형성하는 공정에 사용되는 열전도율이 높고 열분포 특성이 우수한 제품입니다.

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매개변수실리콘 카바이드 SiC 코팅배럴 수신기

CVD-SIC 코팅 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β상
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	Jkg-1 K-1	640
승화 온도	℃	2700
굽힘 강도	MPa(RT 4점)	415
영률	Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열전도율	(W/mK)	300