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실리콘 카바이드 SiC 코팅 배럴 서셉터
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실리콘 카바이드 SiC 코팅 배럴 서셉터

Semicorex는 반도체 제조의 탄화규소 코팅 흑연, 탄화규소 세라믹, MOCVP 영역에 중점을 둔 탄화규소 SiC 코팅 배럴 서셉터, 정밀 가공 고순도 흑연의 선도적인 독립 소유 제조업체입니다. 당사의 실리콘 카바이드 SiC 코팅 배럴 서셉터는 가격 우위가 뛰어나고 많은 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

Semicorex Silicon Carbide SiC Coated Barrel Susceptor는 내열성 및 내식성이 우수한 고순도 SiC를 코팅한 흑연 제품입니다. LPE에 적합합니다. 반도체 wafer에 epixial layer를 형성하는 공정에 사용되는 Silicon Carbide SiC Coated Barrel Susceptor로 열전도율이 높고 열분산 특성이 우수합니다.

실리콘 카바이드 SiC 코팅 배럴 서셉터에 대해 자세히 알아보려면 지금 문의하십시오.


실리콘 카바이드 SiC 코팅 배럴 서셉터의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


실리콘 카바이드 SiC 코팅 배럴 서셉터의 특징

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.

- 단결정 성장에 사용되는 탄화 규소 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 접착 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 열전도율이 높고 열분산 특성이 우수합니다.

- 고융점, 고온 내산화성, 내식성.




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