배럴 서셉터 실리콘 카바이드 코팅 흑연

Semicorex 배럴 서셉터 실리콘 카바이드 코팅 흑연은 에피택시 공정, 특히 웨이퍼 운반에 사용하도록 설계된 특수 부품입니다. 이 배럴 서셉터 탄화규소 코팅 흑연은 흑연 소재로 제작되었으며, 흑연 소재는 고온에서의 우수한 열 전도성과 안정성으로 잘 알려져 있습니다. 성능과 내구성을 강화하기 위해 흑연 표면을 탄화규소(SiC) 층으로 코팅했습니다.

배럴 서셉터 탄화규소 코팅 흑연의 탄화규소 코팅은 이러한 맥락에서 몇 가지 중요한 목적을 제공합니다. 첫째, 기본 흑연 기판에 추가 보호 층을 제공하여 에피택시 공정 중에 발생할 수 있는 화학 반응 및 마모로부터 기판을 보호합니다. 둘째, SiC 코팅은 배럴 서셉터 실리콘 카바이드 코팅 흑연의 열적 특성을 향상시켜 웨이퍼의 효율적이고 균일한 가열을 가능하게 합니다. 이러한 균일한 가열은 반도체 웨이퍼에 일관되고 고품질의 에피택셜 층을 달성하는 데 필수적입니다.

배럴 서셉터 탄화규소 코팅 흑연의 설계는 에피택시 공정 전반에 걸쳐 여러 웨이퍼를 안전하게 고정하고 운반하도록 최적화되었습니다. 배럴형 구조로 인해 웨이퍼를 쉽게 로드 및 언로드할 수 있으며 작동 중 적절한 열 분배와 열 안정성을 보장합니다.

전반적으로 배럴 서셉터 탄화규소 코팅 흑연은 에피택시 장비의 중요한 구성 요소를 나타내며 고급 반도체 장치 생산에 필수적인 신뢰성, 내구성 및 정밀한 열 제어 기능을 제공합니다.