SiC 코팅이 적용된 배럴 서셉터

SiC 코팅이 적용된 Semicorex 배럴 서셉터는 실리콘 에피택셜 공정의 효율성과 정밀도를 높이도록 설계된 최첨단 솔루션입니다. 세부 사항에 세심한 주의를 기울여 제작된 SiC 코팅이 적용된 이 배럴 서셉터는 반도체 제조의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 맞춤 제작되었으며, 최적의 웨이퍼 홀더 역할을 하며 열이 웨이퍼로 원활하게 전달되도록 합니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며, 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

뛰어난 열 전도성과 내구성으로 유명한 고품질 등방 흑연으로 제작된 SiC 코팅이 적용된 배럴 서셉터는 가장 까다로운 환경에서도 안정적인 성능과 수명을 보장합니다. 또한 SiC 코팅이 적용된 배럴 서셉터는 특수 탄화규소(SiC) 코팅을 특징으로 하여 열 안정성을 향상시키고 웨이퍼 표면 전체에 균일한 열 분포를 보장합니다.

SiC 코팅이 적용된 배럴 서셉터의 배럴 모양 디자인은 비교할 수 없는 다양성을 제공하며 Applied Material 및 LPE 장치와의 통합에 완벽하게 적합합니다. 혁신적인 구성은 에피택시 성장 프로세스를 최적화하여 모든 사용에서 일관되고 고품질의 결과를 촉진합니다.

SiC 코팅이 적용된 Semicorex 배럴 서셉터의 주요 특징:

등방성 흑연 구조는 탁월한 열 전도성과 내구성을 보장합니다.

실리콘 카바이드(SiC) 코팅은 열 안정성을 향상시키고 균일한 열 분포를 촉진합니다.

배럴 모양의 디자인은 Applied Material 및 LPE 장치와의 다양성과 호환성을 제공합니다.

실리콘 에피택셜 공정의 특정 요구 사항을 충족하도록 맞춤화되어 최적의 성능과 신뢰성을 보장합니다.