실리콘 에피택시용 SiC 배럴

실리콘 에피택시용 Semicorex SiC 배럴은 실리콘 카바이드(SiC)로 코팅된 흑연 소재를 사용하여 제작됩니다. 이 독특한 구조는 열충격과 화학적 분해에 대한 탁월한 저항성을 보장하여 서셉터의 수명을 연장하고 공정 신뢰성을 유지합니다.

실리콘 에피택시용 SiC 배럴의 고급 SiC 코팅은 우수한 열 전도성과 열 분포를 제공하여 서셉터 전체에 균일한 온도 프로파일을 촉진합니다. 이는 공정 제어를 향상시키고, 열 구배를 최소화하며, 일관된 에피택셜 층 성장을 보장하여 탁월한 균일성과 순도를 갖춘 고품질 실리콘 필름을 생성합니다.

당사의 실리콘 에피택시용 SiC 배럴은 특정 요구 사항과 선호 사항을 충족하도록 맞춤화할 수 있습니다. 크기 조정부터 코팅 두께 변화까지 다양한 공정 매개변수를 수용하고 특정 용도에 맞게 성능을 최적화할 수 있도록 설계 유연성을 제공합니다.

당사의 실리콘 에피택시용 SiC 배럴은 신뢰성과 수명을 제공하여 잦은 교체와 관련된 가동 중지 시간과 유지 관리 비용을 줄여줍니다. 견고한 구조와 탁월한 성능은 공정 효율성 향상에 기여하여 궁극적으로 반도체 제조 작업의 생산성과 비용 효율성을 향상시킵니다.