웨이퍼 수용체

Semicorex 웨이퍼 서셉터는 흑연으로 전문적으로 제작되고 탄화규소(SiC)로 코팅되어 현대 반도체 제조의 까다로운 조건을 충족합니다.

에피택시 공정에서는 안정적이고 통제된 환경을 유지하는 것이 절대적으로 중요합니다. 웨이퍼 서셉터는 증착 중에 웨이퍼가 배치되는 기본 플랫폼 역할을 하며 온도 균일성, 화학적 불활성 및 기계적 강도에 대한 정확한 요구 사항을 충족하여 고품질 에피택셜 레이어를 달성합니다.

웨이퍼 서셉터의 기본 재료로 흑연을 선택한 이유는 우수한 열 전도성과 기계적 특성 때문입니다. 구조적 완전성을 유지하면서 고온을 견딜 수 있는 흑연의 능력은 에피택시 반응기의 고온 환경에서 매우 중요합니다. 또한 흑연의 열 전도성은 웨이퍼 전체에 효율적인 열 분포를 보장하여 에피택셜 층의 결함으로 이어질 수 있는 온도 구배의 위험을 줄입니다.

웨이퍼 서셉터의 성능을 향상시키기 위해 실리콘 카바이드(SiC) 코팅이 흑연 베이스에 전문적으로 적용됩니다. SiC는 우수한 내화학성과 내구성이 뛰어난 소재로 반응성 가스가 자주 존재하는 반도체 환경에 사용하기에 이상적입니다. SiC 코팅은 잠재적인 화학 반응으로부터 흑연을 보호하는 보호 장벽을 제공하여 웨이퍼 서셉터의 수명을 보장하고 반응기 내 깨끗한 환경을 유지합니다.

SiC 코팅 흑연으로 만들어진 Semicorex 웨이퍼 서셉터는 반도체 에피택시 공정에 없어서는 안 될 구성 요소입니다. 흑연의 열적 및 기계적 특성과 실리콘 카바이드의 화학적 및 열적 안정성이 결합되어 현대 반도체 제조의 엄격한 요구 사항에 이상적으로 적합합니다. 단일 웨이퍼 설계는 에피택시 공정을 정밀하게 제어하여 고품질 반도체 장치 생산에 기여합니다. 이 서셉터는 웨이퍼가 최대한의 주의와 정밀도로 처리되도록 보장하여 우수한 에피택셜 레이어와 더 나은 성능의 반도체 제품을 만들어냅니다.