웨이퍼 홀더

Semicorex 웨이퍼 홀더는 고순도 흑연으로 만든 코어로 독창적으로 설계되었으며 SiC(실리콘 카바이드)로 꼼꼼하게 코팅되어 LPE(액상 에피택시) 장비의 까다로운 요구 사항을 충족합니다. 반도체 제조에 내재된 고온 공정 중에 웨이퍼의 무결성을 유지하려면 구조와 재료 선택이 절대적으로 중요합니다.

SiC 코팅 흑연 웨이퍼 홀더는 최적의 웨이퍼 핸들링에 필요한 정확한 치수와 표면 품질을 유지하는 데 필수적인 특성인 마모에 대한 뛰어난 저항성을 보여줍니다. LPE 공정에서는 웨이퍼 홀더 표면의 무결성이 가장 중요합니다. 성능 저하나 불균일로 인해 웨이퍼에 결함이 발생하여 수율이 낮아지고 폐기물이 증가할 수 있기 때문입니다. SiC 코팅은 웨이퍼 홀더가 반복적인 사이클 동안 부드럽고 안정적인 표면을 유지하도록 보장하여 에피택시 공정의 전반적인 신뢰성과 일관성에 기여합니다.

또한 SiC 코팅은 웨이퍼 홀더의 열 성능을 향상시킵니다. 실리콘 카바이드의 높은 열 전도성은 에피택시 공정 중에 웨이퍼 전체에 균일한 열 분포를 보장하며, 이는 웨이퍼의 뒤틀림이나 균열을 유발할 수 있는 열 구배를 방지하는 데 중요합니다. 이는 최종 제품이 반도체 제조에 요구되는 엄격한 품질 표준을 충족함을 보장합니다. 흑연의 고유한 열 특성과 SiC 코팅의 추가적인 이점이 결합되어 가장 까다로운 열 환경을 견딜 수 있는 웨이퍼 홀더가 만들어졌습니다.

Wafer Holder의 디자인은 LPE ​​장비에 적용하기에 최적화되어 있습니다. 웨이퍼 홀더는 웨이퍼를 안전하게 수용할 수 있도록 정밀하게 가공되어 에피택시 공정 중 이동이나 정렬 불량의 위험을 최소화합니다. 웨이퍼 위치가 조금만 바뀌어도 증착이 고르지 않아 제조되는 반도체 장치의 성능에 영향을 미칠 수 있으므로 이러한 정밀도는 매우 중요합니다. SiC 코팅 흑연 웨이퍼 홀더는 필요한 안정성을 제공하여 전체 공정에서 웨이퍼가 올바른 위치에 유지되도록 보장합니다.

                                                        LPE의 LEP 구조