SiC 코팅이 적용된 흑연 서셉터

SiC 코팅이 포함된 흑연 서셉터의 SiC 코팅은 다양한 용도로 사용됩니다. 첫째, 향상된 열 안정성을 제공하여 에피택셜 성장 공정 중 온도 구배를 정밀하게 제어할 수 있습니다. 이러한 안정성은 반도체 웨이퍼에서 균일하고 고품질의 실리콘 층을 달성하는 데 중요합니다. SiC 코팅이 적용된 흑연 서셉터의 SiC 코팅은 화학적 부식 및 열충격에 대한 탁월한 저항성을 제공하여 까다로운 공정 조건에서도 서셉터의 무결성을 보호합니다. 이러한 내구성은 작동 수명을 연장하고 가동 중단 시간을 줄여 궁극적으로 반도체 제조 시설의 생산성과 비용 효율성을 높이는 데 기여합니다.

SiC 코팅이 적용된 흑연 서셉터의 배럴 설계는 웨이퍼의 효율적인 로딩 및 언로딩을 촉진하고 에피택시 공정의 처리량을 최적화합니다. 또한 SiC 코팅이 적용된 흑연 서셉터는 맞춤형 제품으로, 반도체 제조업체의 특정 요구 사항과 선호도를 충족하도록 맞춤화할 수 있어 다양한 장비 구성 및 공정 매개변수와의 호환성을 보장합니다.