SiC 코팅 에피택셜 반응기 배럴

반도체 제조의 경우 Semicorex SiC 코팅 에피택셜 반응기 배럴은 우수한 성능과 뛰어난 열 분포를 위한 선택입니다. 고순도 SiC로 코팅된 이 흑연 제품은 탁월한 내부식성과 내열성을 제공하여 항상 신뢰할 수 있고 일관된 결과를 보장합니다.

Semicorex에서는 고객에게 고품질의 비용 효율적인 제품을 제공하는 데 중점을 두고 있습니다. 당사의 SiC 코팅 에피택셜 반응기 배럴은 가격 우위를 갖고 있으며 많은 유럽 및 미국 시장으로 수출됩니다. 우리는 일관된 품질의 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되는 것을 목표로 합니다.

SiC 코팅 에피택셜 반응기 배럴의 매개변수

SiC 코팅 에피택셜 반응기 배럴의 특징

- 흑연 기판과 탄화 규소 층은 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.

- 단결정 성장에 사용되는 실리콘 카바이드 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 결합 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.

- 흑연 기판과 탄화 규소 층 모두 열 전도성이 높고 열 분포 특성이 우수합니다.

- 높은 융점, 고온 내 산화성, 내식성.