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SiC 코팅 에피택셜 반응기 배럴

SiC 코팅 에피택셜 반응기 배럴

Semicorex SiC 코팅 에피택셜 리액터 배럴은 고순도 SiC로 코팅된 최고 품질의 흑연 제품입니다. 뛰어난 밀도와 열 전도성으로 인해 LPE 공정에 사용하기에 이상적인 선택이며 부식성 및 고온 환경에서 탁월한 열 분배 및 보호 기능을 제공합니다.

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제품 설명

반도체 제조의 경우 Semicorex SiC 코팅 에피택셜 반응기 배럴은 우수한 성능과 뛰어난 열 분포를 위한 선택입니다. 고순도 SiC로 코팅된 이 흑연 제품은 탁월한 내부식성과 내열성을 제공하여 항상 신뢰할 수 있고 일관된 결과를 보장합니다.

Semicorex에서는 고객에게 고품질의 비용 효율적인 제품을 제공하는 데 중점을 두고 있습니다. 당사의 SiC 코팅 에피택셜 반응기 배럴은 가격 우위를 갖고 있으며 많은 유럽 및 미국 시장으로 수출됩니다. 우리는 일관된 품질의 제품과 뛰어난 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되는 것을 목표로 합니다.


SiC 코팅 에피택셜 반응기 배럴의 매개변수

CVD-SIC 코팅 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β상

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

Jkg-1 K-1

640

승화 온도

2700

굽힘 강도

MPa(RT 4점)

415

영률

Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


SiC 코팅 에피택셜 반응기 배럴의 특징

- 흑연 기판과 탄화 규소 층은 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.

- 단결정 성장에 사용되는 탄화 규소 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.

- 흑연 기판과 탄화 규소 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 결합 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.

- 흑연 기판과 탄화 규소 층 모두 높은 열 전도성과 우수한 열 분포 특성을 가지고 있습니다.

- 높은 융점, 고온 내 산화성, 내식성.




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