반도체 제조와 관련하여 Semicorex 고온 SiC 코팅 배럴 서셉터는 탁월한 성능과 신뢰성을 위한 최고의 선택입니다. 고품질 SiC 코팅과 탁월한 열 전도성 덕분에 가장 까다로운 고온 및 부식성 환경에서도 사용하기에 이상적입니다.
Semicorex 고온 SiC 코팅 배럴 서셉터는 단결정 성장 및 높은 내열성과 내식성을 요구하는 기타 반도체 제조 응용 분야를 위한 완벽한 선택입니다. 실리콘 카바이드 코팅은 탁월한 보호 및 열 분산 특성을 제공하여 가장 까다로운 환경에서도 안정적이고 일관된 성능을 보장합니다.
Semicorex에서는 고품질의 비용 효율적인 고온 SiC 코팅 배럴 서셉터를 제공하는 데 중점을 두고 고객 만족을 최우선으로 하며 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 우리는 고품질 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
고온 SiC 코팅 배럴 서셉터의 매개변수
CVD-SIC 코팅 주요 사양 |
||
SiC-CVD 속성 |
||
결정 구조 |
FCC β상 |
|
밀도 |
g/cm ³ |
3.21 |
경도 |
비커스 경도 |
2500 |
입자 크기 |
μm |
2~10 |
화학적 순도 |
% |
99.99995 |
열용량 |
Jkg-1 K-1 |
640 |
승화 온도 |
℃ |
2700 |
굽힘 강도 |
MPa(RT 4점) |
415 |
영률 |
Gpa (4pt 굴곡, 1300℃) |
430 |
열팽창(C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
열전도율 |
(W/mK) |
300 |
고온 SiC 코팅 배럴 서셉터의 특징
- 흑연 기판과 탄화 규소 층은 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.
- 단결정 성장에 사용되는 탄화 규소 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.
- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 결합 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.
- 흑연 기판과 탄화 규소 층 모두 높은 열 전도성과 우수한 열 분포 특성을 가지고 있습니다.
- 높은 융점, 고온 내 산화성, 내식성.