> 제품 > 실리콘 카바이드 코팅 > 배럴 서셉터 > LPE 에피택시용 유도 가열 배럴 Epi 시스템
LPE 에피택시용 유도 가열 배럴 Epi 시스템

LPE 에피택시용 유도 가열 배럴 Epi 시스템

뛰어난 열전도율과 열 분포 특성을 가진 흑연 서셉터가 필요한 경우 LPE 에피택시용 Semicorex 유도 가열 배럴 Epi 시스템만 찾으십시오. 고순도 SiC 코팅은 고온 및 부식성 환경에서 탁월한 보호 기능을 제공하므로 반도체 제조 응용 분야에 사용하기에 이상적인 선택입니다.

문의 보내기

제품 설명

LPE 에피택시용 Semicorex 유도 가열 배럴 Epi 시스템은 뛰어난 열 분포 및 열 전도율이 필요한 반도체 제조 응용 분야를 위한 완벽한 선택입니다. 고순도 SiC 코팅과 우수한 밀도는 탁월한 보호 및 열 분산 특성을 제공하여 가장 까다로운 환경에서도 안정적이고 일관된 성능을 보장합니다.

Semicorex는 고객에게 고품질의 비용 효율적인 제품을 제공하는 데 중점을 둡니다. 당사의 LPE 에피택시용 유도 가열 배럴 Epi 시스템은 가격 이점이 있으며 많은 유럽 및 미국 시장에 수출됩니다. 우리는 일관된 품질의 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되는 것을 목표로 합니다.


LPE 에피택시를 위한 유도 가열 배럴 Epi 시스템의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


LPE 에피택시용 유도 가열 배럴 Epi 시스템의 특징

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.

- 단결정 성장에 사용되는 탄화 규소 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 접착 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 열전도율이 높고 열분산 특성이 우수합니다.

- 고융점, 고온 내산화성, 내식성.




핫 태그: LPE 에피택시용 유도 가열 배럴 에피 시스템, 중국, 제조업체, 공급업체, 공장, 맞춤형, 대량, 고급, 내구성

관련 카테고리

문의 보내기

문의사항은 아래 양식으로 부담없이 보내주세요. 24시간 이내에 회신해 드리겠습니다.