액상 에피택시(LPE) 반응기 시스템

당사의 액상 에피택시(LPE) 반응기 시스템은 뛰어난 비용 대비 가치를 제공하는 신뢰성과 내구성이 뛰어난 제품입니다. 고온 내산화성, 균일한 열 프로파일 및 오염 방지로 인해 고품질 에피택시층 성장에 이상적입니다. 유지 보수 요구 사항이 적고 사용자 정의가 가능하여 시장에서 매우 경쟁력 있는 제품입니다.

Semicorex는 고객에게 고품질의 비용 효율적인 제품을 제공하는 데 중점을 둡니다. 당사의 액상 에피택시(LPE) 반응기 시스템은 가격 이점이 있으며 많은 유럽 및 미국 시장에 수출됩니다. 우리는 일관된 품질의 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되는 것을 목표로 합니다.

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액상 에피택시(LPE) 반응기 시스템의 매개변수

액상 에피택시(LPE) 반응기 시스템의 특징

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.

- 단결정 성장에 사용되는 탄화 규소 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 접착 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 열전도율이 높고 열분산 특성이 우수합니다.

- 고융점, 고온 내산화성, 내식성.