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액상 에피택시(LPE) 반응기 시스템

액상 에피택시(LPE) 반응기 시스템

Semicorex 액상 에피택시(LPE) 반응기 시스템은 뛰어난 열 성능, 균일한 열 프로파일 및 우수한 코팅 접착력을 제공하는 혁신적인 제품입니다. 고순도, 고온 내산화성 및 내식성은 반도체 산업에서 사용하기에 이상적인 선택입니다. 맞춤형 옵션과 비용 효율성으로 인해 시장에서 매우 경쟁력 있는 제품입니다.

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제품 설명

당사의 액상 에피택시(LPE) 반응기 시스템은 뛰어난 비용 대비 가치를 제공하는 신뢰성과 내구성이 뛰어난 제품입니다. 고온 내산화성, 균일한 열 프로파일 및 오염 방지로 인해 고품질 에피택시층 성장에 이상적입니다. 유지 보수 요구 사항이 적고 사용자 정의가 가능하여 시장에서 매우 경쟁력 있는 제품입니다.

Semicorex는 고객에게 고품질의 비용 효율적인 제품을 제공하는 데 중점을 둡니다. 당사의 액상 에피택시(LPE) 반응기 시스템은 가격 이점이 있으며 많은 유럽 및 미국 시장에 수출됩니다. 우리는 일관된 품질의 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되는 것을 목표로 합니다.

LPE(액상 에피택시) 반응기 시스템에 대해 자세히 알아보려면 지금 문의하십시오.


액상 에피택시(LPE) 반응기 시스템의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


액상 에피택시(LPE) 반응기 시스템의 특징

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.

- 단결정 성장에 사용되는 탄화 규소 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 접착 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 열전도율이 높고 열분산 특성이 우수합니다.

- 고융점, 고온 내산화성, 내식성.




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