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SiC 코팅이 있는 LPE 배럴 서셉터

SiC 코팅이 있는 LPE 배럴 서셉터

고순도 SiC로 코팅된 고품질 흑연 서셉터를 찾고 있다면 SiC 코팅이 적용된 Semicorex LPE 배럴 서셉터가 완벽한 선택입니다. 탁월한 열 전도성 및 열 분포 특성으로 인해 반도체 제조 응용 분야에 사용하기에 이상적입니다.

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제품 설명

SiC 코팅이 적용된 Semicorex LPE Barrel Susceptor는 고순도 SiC로 코팅된 프리미엄 품질의 흑연 제품으로 고온 및 부식성 환경에서 사용하기에 이상적인 선택입니다. 우수한 밀도와 열전도율은 반도체 제조 응용 분야에서 뛰어난 열 분포 및 보호 기능을 제공합니다.

Semicorex는 고객에게 고품질의 비용 효율적인 제품을 제공하는 데 중점을 둡니다. SiC 코팅이 적용된 당사의 LPE Barrel Susceptor는 가격 이점이 있으며 많은 유럽 및 미국 시장에 수출됩니다. 우리는 일관된 품질의 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되는 것을 목표로 합니다.


SiC 코팅이 있는 LPE 배럴 서셉터의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


SiC 코팅된 LPE 배럴 서셉터의 특징

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.

- 단결정 성장에 사용되는 탄화 규소 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 접착 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 열전도율이 높고 열분산 특성이 우수합니다.

- 고융점, 고온 내산화성, 내식성.




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