반도체에 SiC 코팅이 적용된 배럴 서셉터

반도체에 SiC 코팅이 적용된 Semicorex 배럴 서셉터는 고순도 SiC로 코팅된 프리미엄 품질의 흑연 제품으로 고온 및 부식성 환경에서 사용하기에 이상적인 선택입니다. 뛰어난 밀도와 열 전도성은 반도체 제조 응용 분야에서 탁월한 열 분산 및 보호 기능을 제공합니다.
Semicorex에서는 고객에게 고품질의 비용 효율적인 제품을 제공하는 데 중점을 두고 있습니다. 반도체에 SiC 코팅을 적용한 당사의 배럴 서셉터는 가격 우위를 가지고 있으며 많은 유럽 및 미국 시장에 수출됩니다. 우리는 일관된 품질의 제품과 뛰어난 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되는 것을 목표로 합니다.

반도체에 SiC 코팅을 적용한 배럴 서셉터의 매개변수

반도체 SiC 코팅 배럴 서셉터의 특징

- 흑연 기판과 탄화 규소 층은 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.

- 단결정 성장에 사용되는 탄화 규소 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 결합 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.

- 흑연 기판과 탄화 규소 층 모두 열 전도성이 높고 열 분포 특성이 우수합니다.

- 높은 융점, 고온 내 산화성, 내식성.