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MOCVD 새틀라이트 홀더 플레이트

MOCVD 새틀라이트 홀더 플레이트

Semicorex MOCVD 새틀라이트 홀더 플레이트는 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 탁월한 캐리어입니다. 고순도, 우수한 내식성 및 심지어 열 프로필은 반도체 제조 공정의 요구 사항을 견딜 수 있는 캐리어를 찾는 사람들에게 탁월한 선택입니다. 우리는 고객의 특정 요구 사항을 충족하는 고품질 제품을 고객에게 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 당사의 MOCVD 위성 홀더 플레이트에 대한 자세한 내용과 반도체 제조 요구 사항에 대해 당사가 어떻게 도울 수 있는지 알아보려면 지금 당사에 문의하십시오.

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제품 설명

Semicorex MOCVD 새틀라이트 홀더 플레이트는 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 고품질 캐리어입니다. 당사 제품은 흑연에 고순도 탄화규소를 코팅하여 최대 1600°C의 고온에서도 산화에 강합니다. 제조에 사용되는 CVD 화학 기상 증착 공정은 고순도와 우수한 내식성을 보장하므로 클린룸 환경에서 사용하기에 이상적입니다.
MOCVD 위성 홀더 플레이트의 특징은 인상적입니다. 치밀한 표면과 미세한 입자는 내식성을 향상시켜 산, 알칼리, 염 및 유기 시약에 대한 내성을 만듭니다. 이 캐리어는 극한 환경에서도 매우 안정적이어서 반도체 산업의 요구 사항을 견딜 수 있는 캐리어를 찾는 사람들에게 탁월한 선택입니다.


MOCVD 위성 홀더 플레이트의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


MOCVD용 SiC 코팅 흑연 서셉터의 특징

- 박리를 피하고 모든 표면에 코팅을 하십시오.
고온 내산화성: 최대 1600°C의 고온에서 안정적
고순도: 고온 염소화 조건에서 CVD 화학 기상 증착에 의해 만들어집니다.
내식성: 높은 경도, 조밀한 표면 및 미세 입자.
내식성: 산, 알칼리, 염 및 유기 시약.
- 최고의 층류 가스 흐름 패턴 달성
- 열 프로파일의 균일성 보장
- 오염이나 불순물 확산 방지




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