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웨이퍼 에피택시용 SiC 코팅 배럴 서셉터

웨이퍼 에피택셜용 Semicorex SiC 코팅 배럴 서셉터는 매우 평평한 표면과 고품질 SiC 코팅 덕분에 단결정 성장 응용 분야를 위한 완벽한 선택입니다. 높은 융점, 내산화성 및 내식성은 고온 및 부식성 환경에서 사용하기에 이상적인 선택입니다.

Semicorex SiC 코팅 에피택셜 리액터 배럴은 고순도 SiC로 코팅된 최고 품질의 흑연 제품입니다. 뛰어난 밀도와 열 전도성으로 인해 LPE 공정에 사용하기에 이상적인 선택이며 부식성 및 고온 환경에서 탁월한 열 분배 및 보호 기능을 제공합니다.

Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor는 LPE 공정을 위해 특별히 설계된 고순도 SiC로 코팅된 프리미엄 품질의 흑연 제품입니다. 내열성 및 내식성이 우수하여 반도체 제조 용도에 적합한 제품입니다.

Semicorex의 에피택셜 반응기 챔버용 SiC 코팅 서셉터 배럴은 우수한 열 분포 및 열 전도성 특성을 특징으로 하는 반도체 제조 공정을 위한 매우 안정적인 솔루션입니다. 또한 부식, 산화 및 고온에 대한 저항력이 매우 높습니다.

Semicorex 실리콘 카바이드 코팅 배럴 서셉터는 고순도 SiC로 코팅된 고품질 흑연 제품으로 탁월한 내열성과 내식성을 제공합니다. 이는 반도체 제조 산업의 LPE 애플리케이션을 위해 특별히 설계되었습니다.

Semicorex SiC 코팅 EPI 3 1/4" 배럴 서셉터는 우수한 열 안정성과 화학적 공격에 대한 저항성을 제공하는 동시에 흑연 기판은 우수한 열 전달 특성을 제공합니다.

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