웨이퍼 에피택시용 SiC 코팅 배럴 서셉터

뛰어난 열 분포와 열 전도성을 갖춘 흑연 서셉터를 찾고 계십니까? 에피택셜 공정 및 기타 반도체 제조 응용 분야에서 탁월한 성능을 발휘하기 위해 고순도 SiC로 코팅된 웨이퍼 에피택셜용 Semicorex SiC 코팅 배럴 서셉터를 만나보세요.
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웨이퍼 에피택시용 SiC 코팅 배럴 서셉터의 매개변수

웨이퍼 에피택시용 SiC 코팅 배럴 서셉터의 특징

- 흑연 기판과 탄화 규소 층은 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.

- 단결정 성장에 사용되는 탄화 규소 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 결합 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.

- 흑연 기판과 탄화 규소 층 모두 열 전도성이 높고 열 분포 특성이 우수합니다.

- 높은 융점, 고온 내 산화성, 내식성.