Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor는 LPE 공정을 위해 특별히 설계된 고순도 SiC로 코팅된 프리미엄 품질의 흑연 제품입니다. 내열성 및 내식성이 우수하여 반도체 제조 용도에 적합한 제품입니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex의 에피택셜 반응기 챔버용 SiC 코팅 서셉터 배럴은 우수한 열 분포 및 열 전도성 특성을 특징으로 하는 반도체 제조 공정을 위한 매우 안정적인 솔루션입니다. 또한 부식, 산화 및 고온에 대한 저항력이 매우 높습니다.
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