Semicorex RTP SiC 코팅 캐리어는 뛰어난 내열성과 열 균일성을 제공하여 반도체 웨이퍼 처리 응용 분야에 완벽한 솔루션을 제공합니다. 고품질 SiC 코팅 흑연을 사용하는 이 제품은 에피택셜 성장을 위한 가장 가혹한 증착 환경을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 높은 열 전도성과 우수한 열 분포 특성은 RTA, RTP 또는 가혹한 화학 세척에 대한 안정적인 성능을 보장합니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex의 ICP 플라즈마 에칭 트레이는 에피택시 및 MOCVD와 같은 고온 웨이퍼 처리 공정을 위해 특별히 설계되었습니다. 최대 1600°C의 안정적인 고온 내산화성을 갖춘 당사의 캐리어는 균일한 열 프로필, 층류 가스 흐름 패턴을 제공하고 오염 또는 불순물 확산을 방지합니다.
더 읽어보기문의 보내기ICP 플라즈마 에칭 시스템을 위한 Semicorex의 SiC 코팅 캐리어는 에피택시 및 MOCVD와 같은 고온 웨이퍼 처리 공정을 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션입니다. 당사의 캐리어는 우수한 내열성, 균일한 열 균일성 및 내구성 있는 내화학성을 제공하는 미세한 SiC 크리스탈 코팅을 특징으로 합니다.
더 읽어보기문의 보내기PSS 에칭용 Semicorex의 에칭 캐리어 홀더는 가장 까다로운 에피택시 장비 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 당사의 초순수 흑연 캐리어는 가혹한 환경, 고온 및 혹독한 화학적 세척을 견딜 수 있습니다. SiC 코팅 캐리어는 우수한 열 분포 특성, 높은 열 전도성을 가지며 비용 효율적입니다. 당사의 제품은 많은 유럽 및 미국 시장에서 널리 사용되고 있으며, 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex LPE(액상 에피택시) 반응기 시스템은 뛰어난 열 성능, 균일한 열 프로파일 및 우수한 코팅 접착력을 제공하는 혁신적인 제품입니다. 고순도, 고온 내산화성 및 내식성은 반도체 산업에 사용하기에 이상적인 선택입니다. 맞춤형 옵션과 비용 효율성으로 인해 시장에서 경쟁력이 매우 높은 제품입니다.
더 읽어보기문의 보내기높은 융점, 내산화성 및 내식성을 갖춘 Semicorex SiC 코팅 배럴 서셉터는 단결정 성장 응용 분야에 사용하기에 완벽한 선택입니다. 탄화규소 코팅은 뛰어난 평탄도와 열 분포 특성을 제공하여 가장 까다로운 고온 환경에서도 안정적이고 일관된 성능을 보장합니다.
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