RTP SiC 코팅 캐리어

Semicorex RTP SiC 코팅 캐리어는 뛰어난 내열성과 열 균일성을 제공하여 반도체 웨이퍼 처리 응용 분야에 완벽한 솔루션을 제공합니다. 고품질 SiC 코팅 흑연을 사용하는 이 제품은 에피택셜 성장을 위한 가장 가혹한 증착 환경을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 높은 열 전도성과 우수한 열 분포 특성은 RTA, RTP 또는 가혹한 화학 세척에 대한 안정적인 성능을 보장합니다.

문의 보내기

제품 설명

당사의 RTP SiC 코팅 캐리어는 가장 까다로운 증착 환경 조건을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 높은 내열성과 내식성을 갖춘 에피택시 서셉터는 에피택시 성장을 위한 완벽한 증착 환경에 노출됩니다. 캐리어의 미세한 SiC 크리스탈 코팅은 매끄러운 표면과 화학적 세척에 대한 높은 내구성을 보장하며, 소재는 균열 및 박리를 방지하도록 설계되었습니다.
Semicorex에서는 고품질의 비용 효율적인 RTP SiC 코팅 캐리어 제공에 중점을 두고 고객 만족을 최우선으로 하며 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 우리는 고품질 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
RTP SiC 코팅 캐리어에 대해 자세히 알아보려면 지금 문의하세요.

RTP SiC 코팅 캐리어의 매개변수

CVD-SIC 코팅 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β상
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	Jkg-1 K-1	640
승화 온도	℃	2700
굽힘 강도	MPa(RT 4점)	415
영률	Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열전도율	(W/mK)	300