RTP SiC 코팅 캐리어

Semicorex RTP SiC 코팅 캐리어는 우수한 내열성과 열 균일성을 제공하여 반도체 웨이퍼 처리 응용 분야에 완벽한 솔루션입니다. 고품질 SiC 코팅 흑연을 사용하는 이 제품은 에피택셜 성장을 위한 가장 가혹한 증착 환경을 견디도록 설계되었습니다. 높은 열전도율과 우수한 열 분포 특성은 RTA, RTP 또는 가혹한 화학 세척에 대해 안정적인 성능을 보장합니다.

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제품 설명

당사의 RTP SiC 코팅 캐리어는 가장 까다로운 증착 환경 조건을 견디도록 설계되었습니다. 내열성 및 내식성이 뛰어난 에피택시 서셉터는 에피택셜 성장을 위한 완벽한 증착 환경에 노출됩니다. 캐리어의 미세 SiC 크리스탈 코팅은 매끄러운 표면과 화학적 세척에 대한 높은 내구성을 보장하며, 재료는 균열 및 박리를 방지하도록 설계되었습니다.
Semicorex는 고품질의 비용 효율적인 RTP SiC 코팅 캐리어를 제공하는 데 중점을 두고 있으며 고객 만족을 우선시하고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 고품질 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
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RTP SiC 코팅 캐리어의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β 단계
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	J·kg-1·K-1	640
승화 온도	℃	2700
쇠약한 힘	MPa(RT 4점)	415
영률	GPA (4pt 굽힘, 1300â)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열 전도성	(W/mK)	300