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RTP/RTA SiC 코팅 캐리어

RTP/RTA SiC 코팅 캐리어

Semicorex RTP/RTA SiC 코팅 캐리어는 가장 까다로운 증착 환경 조건을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 높은 내열성과 내식성을 바탕으로 Epitaxis 성장에 최적의 성능을 제공하도록 설계된 제품입니다. SiC 코팅 캐리어는 높은 열 전도성과 뛰어난 열 분포 특성을 갖고 있어 RTA, RTP 또는 가혹한 화학 세척에 대한 안정적인 성능을 보장합니다.

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제품 설명

MOCVD 에피택셜 성장을 위한 당사의 RTP/RTA SiC 코팅 캐리어는 웨이퍼 핸들링 및 에피택셜 성장 처리를 위한 완벽한 솔루션입니다. 매끄러운 표면과 화학적 세척에 대한 높은 내구성으로 열악한 증착 환경에서도 안정적인 성능을 제공하는 제품입니다.
RTP/RTA SiC 코팅 캐리어의 재료는 균열 및 박리를 방지하도록 설계되었으며, 뛰어난 내열성과 열 균일성은 RTA, RTP 또는 가혹한 화학적 세척에 대해 일관된 성능을 보장합니다.
RTP/RTA SiC 코팅 캐리어에 대해 자세히 알아보려면 지금 문의하세요.


RTP/RTA SiC 코팅 캐리어의 매개변수

CVD-SIC 코팅 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β상

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

Jkg-1 K-1

640

승화 온도

2700

굽힘 강도

MPa(RT 4점)

415

영률

Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열전도율

(W/mK)

300


RTP/RTA SiC 코팅 캐리어의 특징

고순도 SiC 코팅 흑연
우수한 내열성 및 열 균일성
매끄러운 표면을 위해 코팅된 미세 SiC 크리스탈
화학적 세척에 대한 높은 내구성
크랙 및 박리가 발생하지 않도록 재질을 설계하였습니다.





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