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RTP RTA SiC 코팅 캐리어

RTP RTA SiC 코팅 캐리어

Semicorex는 중국의 실리콘 카바이드 코팅 흑연 서셉터의 대규모 제조업체이자 공급업체입니다. Semicorex 흑연 서셉터는 중국에서 내열성 및 내식성이 높은 에피택시 장비용으로 특별히 설계되었습니다. 당사의 RTP RTA SiC 코팅 캐리어는 가격면에서 유리하며 많은 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

Semicorex는 웨이퍼를 지지하는 데 사용되는 RTP RTA SiC Coated Carrier를 공급하며 RTA, RTP 또는 가혹한 화학 세정에 매우 안정적입니다. 고순도 실리콘 카바이드(SiC) 코팅 흑연 구조의 RTP RTA SiC 코팅 캐리어는 우수한 내열성, 균일한 에피층 두께 및 내구성을 위한 열 균일성, 내구성 있는 내화학성을 제공합니다. 미세한 SiC 결정 코팅은 깨끗한 웨이퍼가 전체 영역의 많은 지점에서 서셉터와 접촉하기 때문에 취급에 중요한 깨끗하고 매끄러운 표면을 제공합니다.
Semicorex는 고품질의 비용 효율적인 RTP RTA SiC Coated Carrier를 제공하는 데 중점을 두고 있으며 고객 만족을 우선시하고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 고품질 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.


RTP RTA SiC 코팅 캐리어의 파라미터

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


RTP RTA SiC 코팅 캐리어의 특징

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.
- 단결정 성장에 사용되는 탄화 규소 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.
- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 접착 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.
- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 열전도율이 높고 열분산 특성이 우수합니다.
- 고융점, 고온 내산화성, 내식성.





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