RTP RTA SiC 코팅 캐리어

Semicorex는 중국 내 실리콘 카바이드 코팅 흑연 서셉터의 대규모 제조업체이자 공급업체입니다. 중국에서 높은 내열성과 내식성을 갖춘 에피택시 장비용으로 특별히 설계된 Semicorex 흑연 서셉터입니다. 당사의 RTP RTA SiC 코팅 캐리어는 가격 이점이 뛰어나며 많은 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

문의 보내기

제품 설명

Semicorex는 웨이퍼를 지지하는 데 사용되는 RTP RTA SiC 코팅 캐리어를 공급하며, 이는 RTA, RTP 또는 가혹한 화학적 세척에 매우 안정적입니다. 고순도 실리콘 카바이드(SiC) 코팅 흑연 구조를 갖춘 RTP RTA SiC 코팅 캐리어는 뛰어난 내열성을 제공하며, 일관된 에피층 두께와 저항성을 위한 균일한 열 균일성, 내구성 있는 내화학성을 제공합니다. 정밀한 SiC 크리스탈 코팅은 깨끗하고 매끄러운 표면을 제공하며, 깨끗한 웨이퍼는 전체 영역의 여러 지점에서 서셉터와 접촉하므로 취급에 매우 중요합니다.
Semicorex에서는 고품질의 비용 효율적인 RTP RTA SiC 코팅 캐리어 제공에 중점을 두고 고객 만족을 최우선으로 하며 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 우리는 고품질 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

RTP RTA SiC 코팅 캐리어의 매개변수

CVD-SIC 코팅 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β상
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	Jkg-1 K-1	640
승화 온도	℃	2700
굽힘 강도	MPa(RT 4점)	415
영률	Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열전도율	(W/mK)	300

RTP RTA SiC 코팅 캐리어의 특징

- 흑연 기판과 탄화 규소 층은 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.
- 단결정 성장에 사용되는 탄화 규소 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.
- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 결합 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.
- 흑연 기판과 탄화 규소 층 모두 높은 열 전도성과 우수한 열 분포 특성을 가지고 있습니다.
- 높은 융점, 고온 내 산화성, 내식성.