LPE 성장을 위한 SiC 코팅 배럴 서셉터

LPE 성장을 위한 Semicorex SiC 코팅 배럴 서셉터는 고순도 SiC로 코팅된 최고 품질의 흑연 제품으로, LPE 공정 및 기타 반도체 제조 응용 분야를 위해 특별히 설계되었습니다. 탁월한 밀도와 열전도율은 고온 및 부식성 환경에서 우수한 열 분포 및 보호 기능을 제공합니다.

Semicorex는 LPE 성장을 위한 고품질의 비용 효율적인 SiC 코팅 배럴 서셉터를 제공하는 데 중점을 두고 있으며 고객 만족을 우선시하고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 고품질 제품과 뛰어난 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

LPE 성장을 위한 SiC 코팅 배럴 서셉터의 파라미터

LPE 성장을 위한 SiC 코팅 배럴 서셉터의 특징

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.

- 단결정 성장에 사용되는 탄화 규소 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 접착 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 열전도율이 높고 열분산 특성이 우수합니다.

- 고융점, 고온 내산화성, 내식성.