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실리콘 카바이드 코팅 흑연 배럴

실리콘 카바이드 코팅 흑연 배럴

Semicorex Silicon Carbide-Coated Graphite Barrel은 높은 내열성 및 내식성을 요구하는 반도체 제조 응용 분야를 위한 완벽한 선택입니다. 탁월한 열 전도성 및 열 분포 특성으로 인해 LPE 공정 및 기타 고온 환경에서 사용하기에 이상적입니다.

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제품 설명

반도체 제조와 관련하여 Semicorex 실리콘 카바이드 코팅 흑연 배럴은 탁월한 성능과 신뢰성을 위한 최고의 선택입니다. 고품질 SiC 코팅과 우수한 밀도 및 열 전도성은 가장 까다로운 고온 및 부식성 환경에서도 우수한 열 분산 및 보호 기능을 제공합니다.

실리콘 카바이드 코팅 흑연 배럴은 균일한 열 프로필을 보장하여 최고의 층류 가스 흐름 패턴을 보장합니다. 오염이나 불순물이 웨이퍼로 확산되는 것을 방지하여 클린룸 환경에서 사용하기에 이상적입니다. Semicorex는 중국의 SiC Coated Graphite Susceptor의 대규모 제조업체이자 공급업체이며 당사 제품은 우수한 가격 이점을 가지고 있습니다. 우리는 반도체 산업에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.


실리콘 카바이드 코팅 흑연 배럴의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


실리콘 카바이드 코팅 흑연 배럴의 특징

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.

- 단결정 성장에 사용되는 탄화 규소 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 접착 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 열전도율이 높고 열분산 특성이 우수합니다.

- 고융점, 고온 내산화성, 내식성.




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