실리콘 카바이드 코팅 흑연 배럴

반도체 제조와 관련하여 Semicorex Silicon Carbide-Coated Graphite Barrel은 탁월한 성능과 신뢰성을 위한 최고의 선택입니다. 고품질 SiC 코팅과 우수한 밀도 및 열 전도성은 가장 까다로운 고온 및 부식성 환경에서도 탁월한 열 분산 및 보호 기능을 제공합니다.

당사의 탄화규소 코팅 흑연 배럴은 균일한 열 프로파일을 보장하여 최상의 층류 가스 흐름 패턴을 보장합니다. 오염이나 불순물이 웨이퍼로 확산되는 것을 방지하므로 클린룸 환경에서 사용하기에 이상적입니다. Semicorex는 중국의 SiC 코팅 흑연 서셉터의 대규모 제조업체 및 공급업체이며 당사 제품은 가격 우위가 좋습니다. 우리는 반도체 산업에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

실리콘 카바이드 코팅 흑연 배럴의 매개변수

실리콘 카바이드 코팅 흑연 배럴의 특징

- 흑연 기판과 탄화 규소 층은 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.

- 단결정 성장에 사용되는 탄화 규소 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.

- 흑연 기판과 탄화 규소 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 결합 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.

- 흑연 기판과 탄화 규소 층 모두 열 전도성이 높고 열 분포 특성이 우수합니다.

- 높은 융점, 고온 내 산화성, 내식성.