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중국 실리콘 카바이드 코팅 제조업체, 공급업체, 공장

SiC 코팅은 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 서셉터 위에 얇은 층을 형성하는 것입니다. 실리콘 카바이드 소재는 실리콘에 비해 10배의 항복 전기장 강도, 3배의 밴드 갭을 포함하여 고온 및 내화학성, 우수한 내마모성 및 열 전도성을 제공하는 등 실리콘에 비해 여러 가지 장점을 제공합니다.

Semicorex는 맞춤형 서비스를 제공하고, 더 오래 지속되는 구성 요소로 혁신을 돕고, 주기 시간을 단축하며, 수율을 향상시킵니다.


SiC 코팅은 몇 가지 고유한 장점을 가지고 있습니다.

고온 저항: CVD SiC 코팅 서셉터는 심각한 열 저하 없이 최대 1600°C의 고온을 견딜 수 있습니다.

내화학성: 탄화규소 코팅은 산, 알칼리 및 유기 용매를 포함한 광범위한 화학 물질에 대한 탁월한 저항성을 제공합니다.

내마모성: SiC 코팅은 재료에 탁월한 내마모성을 제공하여 마모가 심한 응용 분야에 적합합니다.

열 전도성: CVD SiC 코팅은 재료에 높은 열 전도성을 제공하므로 효율적인 열 전달이 필요한 고온 응용 분야에 사용하기에 적합합니다.

높은 강도 및 강성: 탄화규소 코팅된 서셉터는 재료에 높은 강도와 ​​강성을 제공하므로 높은 기계적 강도가 필요한 응용 분야에 적합합니다.


SiC 코팅은 다양한 용도로 사용됩니다.

LED 제조: CVD SiC 코팅 서셉터는 높은 열 전도성과 내화학성으로 인해 청색 및 녹색 LED, UV LED, 원자외선 LED 등 다양한 LED 유형의 가공 공정에 사용됩니다.



이동 통신: CVD SiC 코팅 서셉터는 GaN-on-SiC 에피택셜 공정을 완료하는 HEMT의 중요한 부분입니다.



반도체 처리: CVD SiC 코팅 서셉터는 반도체 산업에서 웨이퍼 처리 및 에피택셜 성장을 포함한 다양한 응용 분야에 사용됩니다.





SiC 코팅 흑연 부품

실리콘 카바이드 코팅(SiC) 흑연으로 제작된 이 코팅은 특정 등급의 고밀도 흑연에 CVD 방법으로 적용되므로 불활성 분위기에서 3000°C 이상, 진공에서 2200°C 이상의 고온로에서 작동할 수 있습니다. .

재료의 특별한 특성과 낮은 질량으로 인해 빠른 가열 속도, 균일한 온도 분포 및 탁월한 제어 정밀도가 가능합니다.


Semicorex SiC 코팅의 재료 데이터

일반적인 속성

단위

가치

구조


FCC β상

정위

분수(%)

111 선호

부피 밀도

g/cm3

3.21

경도

비커스 경도

2500

열용량

Jkg-1 K-1

640

열팽창 100~600°C(212~1112°F)

10-6K-1

4.5

영률

Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)

430

입자 크기

μm

2~10

승화 온도

2700

굽힘 강도

MPa(RT 4점)

415

열전도율

(W/mK)

300


결론 CVD SiC 코팅 서셉터는 서셉터와 탄화규소의 특성을 결합한 복합 재료입니다. 이 소재는 고온 및 내화학성, 우수한 내마모성, 높은 열 전도성, 높은 강도 및 강성을 포함한 독특한 특성을 보유하고 있습니다. 이러한 특성으로 인해 반도체 처리, 화학 처리, 열처리, 태양 전지 제조 및 LED 제조를 포함한 다양한 고온 응용 분야에 매력적인 재료가 됩니다.






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