SiC 코팅은 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 서셉터 위에 얇은 층을 형성하는 것입니다. 실리콘 카바이드 소재는 실리콘에 비해 10배의 항복 전기장 강도, 3배의 밴드 갭을 포함하여 고온 및 내화학성, 우수한 내마모성 및 열 전도성을 제공하는 등 실리콘에 비해 여러 가지 장점을 제공합니다.
Semicorex는 맞춤형 서비스를 제공하고, 더 오래 지속되는 구성 요소로 혁신을 돕고, 주기 시간을 단축하며, 수율을 향상시킵니다.
SiC 코팅은 몇 가지 고유한 장점을 가지고 있습니다.
고온 저항: CVD SiC 코팅 서셉터는 심각한 열 저하 없이 최대 1600°C의 고온을 견딜 수 있습니다.
내화학성: 탄화규소 코팅은 산, 알칼리 및 유기 용매를 포함한 광범위한 화학 물질에 대한 탁월한 저항성을 제공합니다.
내마모성: SiC 코팅은 재료에 탁월한 내마모성을 제공하여 마모가 심한 응용 분야에 적합합니다.
열 전도성: CVD SiC 코팅은 재료에 높은 열 전도성을 제공하므로 효율적인 열 전달이 필요한 고온 응용 분야에 사용하기에 적합합니다.
높은 강도 및 강성: 탄화규소 코팅된 서셉터는 재료에 높은 강도와 강성을 제공하므로 높은 기계적 강도가 필요한 응용 분야에 적합합니다.
SiC 코팅은 다양한 용도로 사용됩니다.
LED 제조: CVD SiC 코팅 서셉터는 높은 열 전도성과 내화학성으로 인해 청색 및 녹색 LED, UV LED, 원자외선 LED 등 다양한 LED 유형의 가공 공정에 사용됩니다.
이동 통신: CVD SiC 코팅 서셉터는 GaN-on-SiC 에피택셜 공정을 완료하는 HEMT의 중요한 부분입니다.
반도체 처리: CVD SiC 코팅 서셉터는 반도체 산업에서 웨이퍼 처리 및 에피택셜 성장을 포함한 다양한 응용 분야에 사용됩니다.
SiC 코팅 흑연 부품
실리콘 카바이드 코팅(SiC) 흑연으로 제작된 이 코팅은 특정 등급의 고밀도 흑연에 CVD 방법으로 적용되므로 불활성 분위기에서 3000°C 이상, 진공에서 2200°C 이상의 고온로에서 작동할 수 있습니다. .
재료의 특별한 특성과 낮은 질량으로 인해 빠른 가열 속도, 균일한 온도 분포 및 탁월한 제어 정밀도가 가능합니다.
Semicorex SiC 코팅의 재료 데이터
일반적인 속성 |
단위 |
가치 |
구조 |
|
FCC β상 |
정위 |
분수(%) |
111 선호 |
부피 밀도 |
g/cm3 |
3.21 |
경도 |
비커스 경도 |
2500 |
열용량 |
Jkg-1 K-1 |
640 |
열팽창 100~600°C(212~1112°F) |
10-6K-1 |
4.5 |
영률 |
Gpa (4pt 굴곡, 1300℃) |
430 |
입자 크기 |
μm |
2~10 |
승화 온도 |
℃ |
2700 |
굽힘 강도 |
MPa(RT 4점) |
415 |
열전도율 |
(W/mK) |
300 |
결론 CVD SiC 코팅 서셉터는 서셉터와 탄화규소의 특성을 결합한 복합 재료입니다. 이 소재는 고온 및 내화학성, 우수한 내마모성, 높은 열 전도성, 높은 강도 및 강성을 포함한 독특한 특성을 보유하고 있습니다. 이러한 특성으로 인해 반도체 처리, 화학 처리, 열처리, 태양 전지 제조 및 LED 제조를 포함한 다양한 고온 응용 분야에 매력적인 재료가 됩니다.
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