SiC 코팅은 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 서셉터 위에 얇은 층을 형성하는 것입니다. 실리콘 카바이드 소재는 실리콘에 비해 10배의 항복 전기장 강도, 3배의 밴드 갭을 포함하여 고온 및 내화학성, 우수한 내마모성 및 열 전도성을 제공하는 등 실리콘에 비해 여러 가지 장점을 제공합니다.
Semicorex는 맞춤형 서비스를 제공하고, 더 오래 지속되는 구성 요소로 혁신을 돕고, 주기 시간을 단축하며, 수율을 향상시킵니다.
SiC 코팅은 몇 가지 고유한 장점을 가지고 있습니다.
고온 저항: CVD SiC 코팅 서셉터는 심각한 열 저하 없이 최대 1600°C의 고온을 견딜 수 있습니다.
내화학성: 탄화규소 코팅은 산, 알칼리 및 유기 용매를 포함한 광범위한 화학 물질에 대한 탁월한 저항성을 제공합니다.
내마모성: SiC 코팅은 재료에 탁월한 내마모성을 제공하여 마모가 심한 응용 분야에 적합합니다.
열 전도성: CVD SiC 코팅은 재료에 높은 열 전도성을 제공하므로 효율적인 열 전달이 필요한 고온 응용 분야에 사용하기에 적합합니다.
높은 강도 및 강성: 탄화규소 코팅된 서셉터는 재료에 높은 강도와 강성을 제공하므로 높은 기계적 강도가 필요한 응용 분야에 적합합니다.
SiC 코팅은 다양한 용도로 사용됩니다.
LED 제조: CVD SiC 코팅 서셉터는 높은 열 전도성과 내화학성으로 인해 청색 및 녹색 LED, UV LED, 원자외선 LED 등 다양한 LED 유형의 가공 공정에 사용됩니다.
이동 통신: CVD SiC 코팅 서셉터는 GaN-on-SiC 에피택셜 공정을 완료하는 HEMT의 중요한 부분입니다.
반도체 처리: CVD SiC 코팅 서셉터는 반도체 산업에서 웨이퍼 처리 및 에피택셜 성장을 포함한 다양한 응용 분야에 사용됩니다.
SiC 코팅 흑연 부품
실리콘 카바이드 코팅(SiC) 흑연으로 제작된 이 코팅은 특정 등급의 고밀도 흑연에 CVD 방법으로 적용되므로 불활성 분위기에서 3000°C 이상, 진공에서 2200°C 이상의 고온로에서 작동할 수 있습니다. .
재료의 특별한 특성과 낮은 질량으로 인해 빠른 가열 속도, 균일한 온도 분포 및 탁월한 제어 정밀도가 가능합니다.
Semicorex SiC 코팅의 재료 데이터
일반적인 속성 |
단위 |
가치 |
구조 |
|
FCC β상 |
정위 |
분수(%) |
111 선호 |
부피 밀도 |
g/cm3 |
3.21 |
경도 |
비커스 경도 |
2500 |
열용량 |
Jkg-1 K-1 |
640 |
열팽창 100~600°C(212~1112°F) |
10-6K-1 |
4.5 |
영률 |
Gpa (4pt 굴곡, 1300℃) |
430 |
입자 크기 |
μm |
2~10 |
승화 온도 |
℃ |
2700 |
굽힘 강도 |
MPa(RT 4점) |
415 |
열전도율 |
(W/mK) |
300 |
결론 CVD SiC 코팅 서셉터는 서셉터와 탄화규소의 특성을 결합한 복합 재료입니다. 이 소재는 고온 및 내화학성, 우수한 내마모성, 높은 열 전도성, 높은 강도 및 강성을 포함한 독특한 특성을 보유하고 있습니다. 이러한 특성으로 인해 반도체 처리, 화학 처리, 열처리, 태양 전지 제조 및 LED 제조를 포함한 다양한 고온 응용 분야에 매력적인 재료가 됩니다.
Semicorex는 MOCVD용 탄화규소 코팅 흑연 서셉터의 신뢰할 수 있는 공급업체이자 제조업체입니다. 당사의 제품은 웨이퍼 칩의 에피택셜 층을 성장시키는 반도체 산업의 요구를 충족하도록 특별히 설계되었습니다. MOCVD에서 센터 플레이트로 사용되는 제품으로 기어 또는 링 형태의 디자인을 갖고 있습니다. 내열성과 내식성이 뛰어나 극한 환경에서 사용하기에 이상적입니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex는 SiC 코팅 MOCVD 흑연 위성 플랫폼의 평판이 좋은 공급업체이자 제조업체입니다. 당사의 제품은 웨이퍼 칩의 에피택셜 층을 성장시키는 반도체 산업의 요구를 충족하도록 특별히 설계되었습니다. MOCVD에서 센터 플레이트로 사용되는 제품으로 기어 또는 링 형태의 디자인을 갖고 있습니다. 내열성과 내식성이 뛰어나 극한 환경에서 사용하기에 이상적입니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex는 웨이퍼 에피택시용 고품질 MOCVD Cover Star 디스크 플레이트의 유명한 제조업체이자 공급업체입니다. 당사의 제품은 특히 웨이퍼 칩의 에피택셜 층을 성장시키는 반도체 산업의 요구를 충족하도록 특별히 설계되었습니다. 당사의 서셉터는 기어 또는 링 형태의 디자인으로 MOCVD에서 중앙 플레이트로 사용됩니다. 이 제품은 고열 및 부식에 대한 저항력이 뛰어나 극한 환경에서 사용하기에 이상적입니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex는 에피택셜 성장용 MOCVD 서셉터의 선도적인 공급업체이자 제조업체입니다. 당사 제품은 반도체 산업, 특히 웨이퍼 칩의 에피택셜 층 성장에 널리 사용됩니다. 당사의 서셉터는 기어 또는 링 형태의 디자인으로 MOCVD에서 중앙 플레이트로 사용되도록 설계되었습니다. 내열성과 내식성이 높아 극한 환경에서도 안정적인 제품입니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex는 SiC 코팅 MOCVD 서셉터의 선도적인 제조업체이자 공급업체입니다. 당사의 제품은 반도체 산업에서 웨이퍼 칩의 에피택셜 층을 성장시키기 위해 특별히 설계되었습니다. 고순도 탄화규소 코팅 흑연 캐리어는 기어 또는 링 모양 디자인으로 MOCVD의 중앙 플레이트로 사용됩니다. 당사의 서셉터는 MOCVD 장비에 널리 사용되어 높은 내열성 및 내식성을 보장하며 극한 환경에서도 뛰어난 안정성을 보장합니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex는 중국 내 실리콘 카바이드 코팅 흑연 서셉터의 대규모 제조업체이자 공급업체입니다. 탄화규소층, 에피택시 반도체 등 반도체 산업에 주력하고 있습니다. 당사의 MOCVD용 SiC 코팅 흑연 서셉터는 가격 경쟁력이 뛰어나며 유럽과 미국 시장 대부분을 포괄합니다. 우리는 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
더 읽어보기문의 보내기