SiSiC 웨이퍼 보트

반도체 및 태양전지 제조의 경쟁 환경에서는 처리량과 부품 수명의 균형을 맞추는 것이 필수적입니다. 우리의SiSiC 웨이퍼 보트는 고온 용광로 작업을 위한 '산업용 기계'로 설계되었습니다. 반응 결합 공정을 활용하여 기존 석영 및 표준 세라믹에 비해 우수한 기계적 강도와 열충격 저항성을 제공하는 캐리어를 제공합니다.

SiSiC의 과학: 반응 결합이 중요한 이유

고압 분말 압밀을 통해 형성되는 소결 SiC와는 달리,SiSiC 웨이퍼 보트 다공성 탄소 프리폼에 용융 실리콘을 침투시켜 생산됩니다. 이 "반응 결합" 공정을 통해 제조 과정에서 거의 수축이 발생하지 않는 재료가 생성되므로 놀라운 치수 정밀도로 복잡한 대규모 보트 구조를 생산할 수 있습니다.

1. 우수한 열충격 저항

일괄 처리에서 가장 중요한 과제 중 하나는 용광로의 빠른 "푸시-풀" 주기입니다. 석영 캐리어는 종종 열 응력으로 인해 균열이 발생합니다. SiSiC는 훨씬 더 높은 파열 계수(MOR)와 우수한 열 전도성을 가지고 있습니다. 이를 통해 우리 보트는 구조적 결함 위험 없이 급격한 온도 상승을 견딜 수 있어 장비 가동 중지 시간이 줄어듭니다.

2. 온도에 따른 높은 내하력

처리량을 극대화하기 위해 웨이퍼 크기가 증가하고 배치가 커짐에 따라 캐리어의 무게도 증가합니다. 당사의 SiSiC 보트는 뛰어난 크리프 저항성을 나타냅니다. 다른 재료는 1,250°C의 높은 하중으로 인해 처지거나 휘어질 수 있지만 SiSiC는 기하학적 구조를 유지하여 수천 사이클 동안 웨이퍼 슬롯 평행성이 완벽하게 유지되도록 보장합니다.

3. 화학적 불활성 및 표면 무결성

당사의 SiSiC 보트는 가혹한 화학적 환경을 위해 설계되었습니다. 이 재료는 본질적으로 LPCVD 및 확산 공정에 사용되는 부식성 가스에 대한 저항성을 갖고 있습니다. 또한 표면은 "유리 실리콘" 이동이 없도록 처리되어 웨이퍼의 전기적 무결성을 보호하는 안정적이고 깨끗한 환경을 제공합니다.

기술 사양: SiSiC 성능 매트릭스

글로벌 제조 표준에 최적화됨

당사의 SiSiC 웨이퍼 보트는 TEL(Tokyo Electron), ASM 및 Kokusai Electric을 포함한 세계 최고의 용광로 OEM과 호환됩니다. 우리는 다음을 위한 맞춤형 솔루션을 제공합니다.

수평 확산로: 150mm 및 200mm 웨이퍼용 고정밀 슬롯을 갖춘 긴 길이의 보트입니다.

수직형 전기로 시스템: 가스 흐름과 열 균일성을 최적화하는 저질량 설계입니다.

태양광 PV 셀 생산: 대량 POCl3 확산을 위해 설계된 특수 SiSiC 캐리어로 석영보다 5~10배 긴 서비스 수명을 제공합니다.

전문가의 통찰력: 1,380°C를 초과하는 공정의 경우 Sintered SiC 라인을 권장합니다. 그러나 대부분의 확산, 산화 및 LPCVD 단계에서 SiSiC는 업계에서 가장 비용 효율적인 성능 대 수명 비율을 제공합니다.

왜 우리와 협력해야 할까요?

재료 전문성: 당사는 반응 결합 공정을 위해 고순도 알파-SiC 분말과 전자 등급 실리콘만을 공급합니다.

정밀 엔지니어링: 당사의 CNC 연삭 기능은 ±0.02mm 이내의 슬롯 공차를 허용하여 웨이퍼 진동 및 파손을 줄입니다.

지속 가능성 및 ROI: 석영에서 SiSiC로 전환하면 팹에서는 일반적으로 교체 빈도가 크게 감소하여 연간 소모품 지출이 40% 감소합니다.

우리가 배송하는 모든 보트에는 적합성 인증서(CoC)와 전체 치수 검사 보고서가 함께 제공되므로 프로세스 키트가 클린룸에 즉시 설치할 수 있도록 준비됩니다.