실리콘 카바이드 세라믹 캔틸레버 패들

세미코렉스실리콘 카바이드 세라믹 캔틸레버 패들1단계 3D 프린팅 그린 바디를 고온 소결한 후 화학 기상 증착을 통한 코팅 처리를 통해 생산됩니다. 실제 작동 중에 탄화규소 세라믹 캔틸레버 패들은 기계 자동화 시스템에 의해 작동되어 웨이퍼 운반 부품을 고온 처리 장비(산화로, 확산로, CVD로 등) 안팎으로 원활하고 안정적으로 전달합니다. 이러한 탄화규소 구성 요소는 웨이퍼와 퍼니스 튜브 사이의 동심도 정확도를 효과적으로 보장할 수 있으므로 확산, 산화 및 화학 기상 증착과 같은 중요한 공정에서 공정 균일성과 안정성을 보장합니다.

Semicorex 실리콘 카바이드 세라믹 캔틸레버 패들의 성능

1. 낮은 오염 성능:

세미코렉스탄화규소고정밀 처리된 세라믹 캔틸레버 패들은 무분진 및 무입자 표준에 도달했습니다. 매트릭스의 불순물 함량은 300PPM 미만으로 엄격하게 제어되며 CVD 탄화규소 코팅의 불순물 함량은 5PPM보다 훨씬 낮습니다.

2. 고온 안정성:

탄화규소의 뛰어난 내열성과 열 충격 저항으로 인해 Semicorex 탄화규소 세라믹 캔틸레버 패들은 고온으로 인한 변형, 연화 또는 손상 없이 최대 1250°C의 고온에서 구조적 안정성을 장기간 유지할 수 있습니다.

3. 탁월한 적재 용량:

Semicorex 탄화규소 세라믹 캔틸레버 패들은 독특한 구조 설계와 우수한 재료 특성(높은 기계적 강도 및 경도)의 이점을 활용하여 탁월한 하중 용량을 제공합니다. 이러한 탁월한 적재 용량을 통해 대량 생산 요구 사항을 충족하기 위해 대량의 웨이퍼 배치 무게를 견딜 수 있으며, 이는 웨이퍼 배치 처리의 효율성을 효과적으로 향상시킵니다.

4. 놀라운 내식성 :

Semicorex 탄화규소 세라믹 캔틸레버 패들은 반도체 및 광전지 제조 공정에서 고온에 존재하는 산소, 염소 및 기타 부식성 물질에 대해 탁월한 내식성을 나타냅니다. 이 뛰어난 성능은 탄화규소 세라믹 캔틸레버 패들의 손상으로 인한 손실과 시간을 방지하여 생산 공정의 원활한 작동을 보장하는 데 매우 중요합니다.

Semicorex 탄화 규소 세라믹 캔틸레버 패들의 포장 방법