배럴 반응기의 실리콘 에피택셜 증착

배럴 반응기의 Semicorex 실리콘 에피택셜 증착은 웨이퍼 칩의 에피시얼 레이어를 성장시키는 데 이상적인 제품입니다. 고순도 SiC 코팅 흑연 캐리어로 열과 부식에 대한 저항력이 뛰어나 극한 환경에서 사용하기에 적합합니다. 이 배럴 서셉터는 LPE에 적합하며 우수한 열 성능을 제공하여 열 프로파일의 균일성을 보장합니다. 또한, 최상의 층류 가스 흐름 패턴을 보장하고 오염이나 불순물이 웨이퍼로 확산되는 것을 방지합니다.

Semicorex에서는 고객에게 고품질의 비용 효율적인 제품을 제공하는 데 중점을 두고 있습니다. 배럴 반응기의 실리콘 에피택셜 증착은 가격 우위를 가지고 있으며 많은 유럽 및 미국 시장으로 수출됩니다. 우리는 일관된 품질의 제품과 뛰어난 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되는 것을 목표로 합니다.

배럴 반응기의 실리콘 에피택시 증착 매개변수

배럴 반응기의 실리콘 에피택시 증착 특징

- 흑연 기판과 탄화 규소 층은 모두 밀도가 좋으며 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.

- 단결정 성장에 사용되는 탄화 규소 코팅 서셉터는 표면 평탄도가 매우 높습니다.

- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 사이의 열팽창 계수 차이를 줄이고 결합 강도를 효과적으로 향상시켜 균열 및 박리를 방지합니다.

- 흑연 기판과 탄화 규소 층 모두 높은 열 전도성과 우수한 열 분포 특성을 가지고 있습니다.

- 높은 융점, 고온 내 산화성, 내식성.