배치 웨이퍼 보트
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배치 웨이퍼 보트

Semicorex는 수직/열 및 수평 구성 모두를 위한 웨이퍼 보트, 받침대 및 맞춤형 웨이퍼 캐리어를 제공합니다. 우리는 수년 동안 실리콘 카바이드 코팅 필름의 제조 및 공급 업체였습니다. 우리의 Batch Wafer Boat는 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

Semicorex 배치 웨이퍼 보트는 우수한 내화학성과 열 안정성을 위해 고품질 실리콘 카바이드 세라믹 소재로 제작됩니다.
당사의 Batch Wafer Boat는 표면이 매끄럽고 처리 중에 우수한 웨이퍼 지지 및 보호 기능을 제공합니다. SiC 코팅은 공정 중 균일성과 안정성을 보장하여 웨이퍼를 오염 및 손상으로부터 보호합니다. 뛰어난 열전도율과 우수한 기계적 강도를 갖춘 당사의 웨이퍼 홀더는 일관되고 신뢰할 수 있는 결과를 제공합니다.
우리의 전문가 팀은 최고의 품질과 서비스를 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 당사는 귀하의 특정 요구 사항을 충족하는 맞춤형 설계를 제공하며 당사의 배치 웨이퍼 보트는 품질 보증 프로그램의 지원을 받습니다.


배치 웨이퍼 보트의 매개변수

기술 속성

색인

단위

재료명

반응 소결 실리콘 카바이드

압력이 없는 소결 실리콘 카바이드

재결정 실리콘 카바이드

구성

RBSiC

SSiC

R-SiC

부피 밀도

g/cm3

3

3.15 ± 0.03

2.60-2.70

굴곡강도

MPa(kpsi)

338(49)

380(55)

80-90 (20°C)90-100(1400°C)

압축 강도

MPa(kpsi)

1120(158)

3970(560)

> 600

경도

누프

2700

2800

/

끈기 깨기

MPa·m1/2

4.5

4

/

열 전도성

W/m.k

95

120

23

열팽창 계수

10-6.1/°C

5

4

4.7

비열

줄/g 0k

0.8

0.67

/

공기 중 최대 온도

1200

1500

1600

탄성계수

GPA

360

410

240


SSiC와 RBSiC의 차이점:

1. 소결 공정이 다릅니다. RBSiC는 저온에서 탄화규소에 자유 Si를 침투시키는 것으로, SSiC는 2100도에서 자연수축에 의해 형성된다.

2. SSiC는 더 매끄러운 표면, 더 높은 밀도 및 더 높은 강도를 가지고 있습니다. 더 엄격한 표면 요구 사항이 있는 일부 밀봉의 경우 SSiC가 더 좋습니다.

3. 다른 PH 및 온도에서 다른 사용 시간, SSiC는 RBSiC보다 깁니다.


배치 웨이퍼 보트의 특징

- 고강도(모스 경도 9.5, 다이아몬드 다음으로 높음)
- 산, 알칼리, 염 및 유기용제에 대한 내식성
- 높은 열전도율, 내플라즈마성, 긴 수명
- 반도체



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