배치 웨이퍼 보트

Semicorex는 수직/열 및 수평 구성 모두를 위한 웨이퍼 보트, 받침대 및 맞춤형 웨이퍼 캐리어를 제공합니다. 우리는 수년 동안 실리콘 카바이드 코팅 필름의 제조 및 공급 업체였습니다. 우리의 Batch Wafer Boat는 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

Semicorex 배치 웨이퍼 보트는 우수한 내화학성과 열 안정성을 위해 고품질 실리콘 카바이드 세라믹 소재로 제작됩니다.
당사의 Batch Wafer Boat는 표면이 매끄럽고 처리 중에 우수한 웨이퍼 지지 및 보호 기능을 제공합니다. SiC 코팅은 공정 중 균일성과 안정성을 보장하여 웨이퍼를 오염 및 손상으로부터 보호합니다. 뛰어난 열전도율과 우수한 기계적 강도를 갖춘 당사의 웨이퍼 홀더는 일관되고 신뢰할 수 있는 결과를 제공합니다.
우리의 전문가 팀은 최고의 품질과 서비스를 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 당사는 귀하의 특정 요구 사항을 충족하는 맞춤형 설계를 제공하며 당사의 배치 웨이퍼 보트는 품질 보증 프로그램의 지원을 받습니다.

배치 웨이퍼 보트의 매개변수

기술 속성
색인	단위	값
재료명		반응 소결 실리콘 카바이드	압력이 없는 소결 실리콘 카바이드	재결정 실리콘 카바이드
구성		RBSiC	SSiC	R-SiC
부피 밀도	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
굴곡강도	MPa(kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
압축 강도	MPa(kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
경도	누프	2700	2800	/
끈기 깨기	MPa·m1/2	4.5	4	/
열 전도성	W/m.k	95	120	23
열팽창 계수	10^-6.1/°C	5	4	4.7
비열	줄/g 0k	0.8	0.67	/
공기 중 최대 온도	℃	1200	1500	1600
탄성계수	GPA	360	410	240