배치 웨이퍼 보트

Semicorex는 수직/기둥 및 수평 구성 모두를 위한 웨이퍼 보트, 받침대 및 맞춤형 웨이퍼 캐리어를 제공합니다. 우리는 수년 동안 탄화 규소 코팅 필름의 제조업체 및 공급 업체였습니다. 당사의 배치 웨이퍼 보트는 가격 경쟁력이 뛰어나며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

Semicorex 배치 웨이퍼 보트는 우수한 내화학성과 열 안정성을 위해 고품질 탄화규소 세라믹 소재로 제작되었습니다.
당사의 배치 웨이퍼 보트는 표면 마감이 매끄러우며 처리 중에 탁월한 웨이퍼 지지 및 보호 기능을 제공합니다. SiC 코팅은 처리 중 균일성과 안정성을 보장하여 웨이퍼를 오염과 손상으로부터 보호합니다. 우수한 열 전도성과 우수한 기계적 강도를 갖춘 당사의 웨이퍼 홀더는 일관되고 신뢰할 수 있는 결과를 제공합니다.
우리의 전문가 팀은 최고의 품질과 서비스를 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 우리는 귀하의 특정 요구 사항을 충족하는 맞춤형 디자인을 제공하며 배치 웨이퍼 보트는 품질 보증 프로그램의 지원을 받습니다.

배치 웨이퍼 보트의 매개변수

기술적 특성
색인	단위	값
재료 이름		반응 소결 실리콘 카바이드	무압력 소결 실리콘 카바이드	재결정화된 탄화규소
구성		RBSiC	SSiC	R-SiC
벌크 밀도	g/cm3	3	3.15±0.03	2.60-2.70
굴곡강도	MPa(kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
압축강도	MPa(kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
경도	단추	2700	2800	/
파괴적인 끈기	MPa·m1/2	4.5	4	/
열전도율	W/m.k	95	120	23
열팽창 계수	10^-6.1/°C	5	4	4.7
비열	줄/g 0k	0.8	0.67	/
공기 중 최대 온도	℃	1200	1500	1600
탄성률	평점	360	410	240