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MOCVD 진공 챔버 뚜껑

MOCVD 진공 챔버 뚜껑

결정 성장 및 웨이퍼 취급 공정에 사용되는 MOCVD 진공 챔버 뚜껑은 고온 및 가혹한 화학 세척을 견뎌야 합니다. Semicorex 실리콘 카바이드 코팅 MOCVD 진공 챔버 뚜껑은 특별히 이러한 까다로운 환경을 견디도록 설계되었습니다. 우리의 제품은 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 많은 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

Semicorex Graphite 부품은 고순도 SiC 코팅 흑연으로 단결정 및 웨이퍼 공정을 성장시키는 공정에 사용됩니다. MOCVD 진공 챔버 리드 컴파운드 성장은 높은 내열성 및 내식성을 가지며 휘발성 전구체 가스, 플라즈마 및 고온의 조합을 경험할 수 있는 내구성이 있습니다.

Semicorex는 고객에게 고품질의 제품과 서비스를 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 우리는 최고의 재료만을 사용하며 우리 제품은 최고 수준의 품질과 성능을 충족하도록 설계되었습니다. 당사의 MOCVD 진공 챔버 뚜껑도 예외는 아닙니다. 반도체 웨이퍼 처리 요구 사항에 대해 당사가 어떻게 도움을 드릴 수 있는지 자세히 알아보려면 지금 당사에 문의하십시오.


MOCVD 진공 챔버 뚜껑의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


MOCVD 진공 챔버 뚜껑의 특징

â 울트라 플랫 기능

â 거울 광택

â 뛰어난 경량

높은 강성

â 낮은 열팽창

â 극도의 내마모성




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